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微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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ST MEMS傳感器全球出貨量第一,Sigfox成今年發力點
【導讀】根據第三方公司的市場調查數據,ST MEMS傳感器現在的全球出貨量已經超過130億顆,穩占全球領先位置。另外,Sigfox芯片2018年也將成為...
MEMS傳感器 應用于無創胎心檢測,檢測胎兒心率是一項技術性很強的工作,由于胎兒心率很快,在每分鐘l20~160次之間,用傳統的聽診器甚至只有放大作用的...
MEMS器件利用半導體加工技術來制造三維機械結構,三種最常用的MEMS制造技術包括體微加工(Bulk Micro Machining)、表面微加工(Su...
新一代高G值加速度傳感器SMA7xy系列可以顯著提升駕駛員和乘客的安全。當加速度傳感器檢測到碰撞時,被動安全系統例如安全氣囊會更快打開,并且可以根據事故...
SMG開發出了獨具高性能、超高靈敏度且堅固的MEMS技術。其MEMS技術包括一款預期分辨率約達地球重力十億分之一的3軸加速度計。
我國MEMS晶圓級測試技術研究始于20世紀90年代初,經過20年的發展,初步形成了幾個研究力量比較集中的地區,如京津、華東、東北、西南、西北地區等。
北京大學微納電子學系高成臣教授課題組依托MEMS工藝平臺,經過6年的持續研究,在國內首次研制出了高性能的熱式聲粒子振速傳感器,并完成了聲粒子振速傳感器與...
相關專家預計,2018年上半年國內傳感器上市企業整體的營收增長明顯。我國的傳感器市場增長迅速,年均增長速度超過20%。
演示文稿中介紹了加速度在生活中的現象,并基于生活中的加速度現象引申到MEMS加速度計的工作原理。詳細介紹了胡克定律和牛頓第二定律,以及如果結合這兩個定律...
ADI認為在新的潮流轉變中可以有所作為,通過提供可信的數據以獲得高效、可執行、有競爭力的洞察,幫助客戶對人工智能和預測系統的投資更具競爭力。
8power由劍橋大學微系統技術教授Ashwin Seshia等人于2015年1月共同創立,致力于基于參量共振的振動能量收集技術(通過MEMS技術收集)的應用。
研究人員為了實現動態光控制,將超透鏡剝離并將其轉移到2D MEMS掃描器上,這種掃描器能夠控制透鏡沿著兩個正交軸在± 9°間動態掃描。這是一個可以用來補...
MEMS電容式加速度傳感器(簡介) MEMS傳感器即微機電系統是在微電子技術基礎上發展起來的多學科交叉的前沿研究領域,與傳統的傳感器相比,它具有體積小、...
據麥姆斯咨詢介紹,霍尼韋爾9軸MEMS慣性傳感器HG1120CA50是一款緊湊型9軸慣性模組,尤其適用于平臺控制、導航和機器人。HG1120CA50集成...
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