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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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國內(nèi)外傳感器發(fā)展對比 國內(nèi)傳感器的挑戰(zhàn)與機遇
在物聯(lián)網(wǎng)的高速推動下,傳感器的使用量還在不斷地提高,可以預見傳感器技術將迎來長足的發(fā)展。隨著傳感器與MEMS結合技術的推出,傳感器領域成為全球的焦點。根...
2017-12-19 標簽:傳感器mems物聯(lián)網(wǎng) 9357 0
本文主要圍繞嵌套環(huán)MEMS陀螺的關鍵技術展開調(diào)研,分析討論了國內(nèi)外主要研究機構在嵌套環(huán)MEMS陀螺關鍵技術上的研究思路和進展,為后續(xù)嵌套環(huán)MEMS陀螺的...
激光隱形切割作為激光切割晶圓的一種方案,很好的避免了砂輪劃片存在的問題。如圖1所示,激光隱形切割是通過將脈沖激光的單個脈沖通過光學整形
路演回顧|第七屆中國硬件創(chuàng)新創(chuàng)客大賽華北區(qū)決賽路演活動成功舉辦
10月21日下午,第七屆中國硬件創(chuàng)新創(chuàng)客大賽華北區(qū)決賽路演活動成功舉辦。受疫情影響,本次華北區(qū)決賽路演采取了線上直播的形式。活動由深圳華秋電子有限公司(...
凱勒與壓阻技術的發(fā)展有密切關系。凱勒先生開發(fā)了第一個壓阻式壓力傳感器后不久,于1975年創(chuàng)辦了凱勒公司,現(xiàn)已成長為提供壓力測量解決方案的全球領導者。公司...
SiA200系列是青島智騰微電子自主研發(fā)的MEMS加速度計,SiA200系列是一種的電容體的MEMS加速度計,專為慣性應用設計。
據(jù)麥姆斯咨詢報道,2017年對MEMS和傳感器產(chǎn)業(yè)來說是個好年景,且這種增長趨勢會持續(xù)下去。Yole預測固態(tài)傳感器和執(zhí)行器市場將實現(xiàn)強勁增長,到2023...
如今,壓電和MEMS技術的融合發(fā)展,正在為全球MEMS產(chǎn)業(yè)帶來一場革命。壓電MEMS技術越來越多地應用于射頻(RF)濾波器、超聲波換能器、慣性傳感器、M...
MEMS傳感器是物聯(lián)網(wǎng)、人工智能、5G等新一代信息技術的感知基礎和數(shù)據(jù)來源,已成為推動經(jīng)濟社會發(fā)展的關鍵基礎與重要引擎。
2020-07-22 標簽:mems物聯(lián)網(wǎng)5G 9119 0
MEMS開關:四大突破技術實現(xiàn)傳統(tǒng)開關的革命
“金手指”采用靜電動作方式,在懸臂梁下方施加高壓直流電壓,以控制開關導通。當導通時,靜電吸引力將懸臂拉下來,全部5個觸點都降下來,每個觸點的導通電阻均為...
核心行業(yè)機構發(fā)布《中國傳感器(技術、產(chǎn)業(yè))發(fā)展藍皮書》正文介紹
第十六全國敏感元件與傳感器學術會議(STC2020)于9月19日在沈陽成功召開。會上,中國儀器儀表行業(yè)協(xié)會傳感器分會、中國儀器儀表學會傳感器分會、中國儀...
NextInput完成B輪融資,推出MEMS力度感測解決方案
據(jù)麥姆斯咨詢報道,MEMS力度感測解決方案全球領導者NextInput近日宣布,公司已經(jīng)成功實現(xiàn)了力度傳感器性能新突破,帶來了世界上最好的固態(tài)按鍵解決方案。
MEMS的制造主要采用Si材料,它與IC的不同在于,IC是電信號的傳輸、轉換及處理,而MEMS是電信號和其他形式能量間的轉換(以機械能為典型),所以在M...
海譜納米首次實現(xiàn)基于MEMS技術的短波紅外高光譜相機的量產(chǎn)
深圳市海譜納米光學科技有限公司(以下簡稱:海譜納米)宣布取得重大技術突破,業(yè)內(nèi)首次實現(xiàn)了基于MEMS技術的短波紅外高光譜相機的量產(chǎn)。
英飛凌高信噪比MEMS麥克風助力XMOS推出的亞馬遜AVS遠場開發(fā)套件實現(xiàn)強大功能
2017年10月12日,XMOS推出適用于遠場應用、面向亞馬遜Alexa語音服務的VocalFusion 4麥克風開發(fā)套件。該套件集成英飛凌的高信噪比麥...
國內(nèi)MEMS氣體傳感器廠商合肥微納傳感技術完成數(shù)千萬元A輪的融資
合肥微納成立于2015年,專注于MEMS傳感器及模塊的研發(fā)與量產(chǎn),公司主要產(chǎn)品包括MEMS氣體傳感器、MEMS氣體流量傳感器、MEMS紅外溫度傳感器及模...
IMT和北京大學微納電子學研究院持續(xù)開展戰(zhàn)略合作,三位優(yōu)秀學生獲2017年度MEMS專項獎學金
美國加利福尼亞州圣巴巴拉市及中國北京,2018年4月9日 — 美國最大的開放式MEMS 技術和制造服務提供商IMT公司(Innovative Micro...
基于MEMS微振鏡的固態(tài)激光雷達掃描模組、3D深度相機的簡單分析介紹
近期接觸到西安知微傳感技術有限公司,碰巧在公司樓上,于是約了時間過去拜訪,公司面積不大,使用微納點石創(chuàng)新空間的兩小間辦公室,不過據(jù)了解由于公司發(fā)展需要更...
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