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微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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MEMS全稱Micro Electromechanical System(微機電系統),是一種通常在硅晶圓上以IC工藝制備的微機電系統,微機械結構的制備...
CES 2018:速騰聚創再次亮出兩項激光雷達領域突破性技術
速騰聚創亮出兩項全球領先的激光雷達領域突破性技術:MEMS激光雷達和攝像頭的底層融合技術和基于高精地圖的激光雷達整體感知系統。
基于ADXL1002MEMS加速度計的高線性、低噪聲、寬帶振動測量解決方案
本文介紹一種基于ADXL1002MEMS加速度計的高線性、低噪聲、寬帶振動測量解決方案。這種解決方案可用于實施軸承分析或發動機監測,且適用于所有需要動態...
中芯國際告訴DIGITIMES,隨著智能化社會的到來,智能化設備中應用廣泛的微機電和功率器件市場需求激增,目前市場處于供不應求的狀態。中芯國際看好,未來...
2020年成為激光雷達企業的上市元年。2020年,五家國外激光雷達企業(Velodyne、Luminar、Innoviz、Aeva和Ouster)紛紛宣...
本發明提供了一種加速度計內嵌壓力傳感器的單硅片復合傳感器結構及方法,以解決傳統復合傳感器芯片結構尺寸大、成本高、制作工藝復雜等問題。實現了單片復合傳感器...
IHS MEMS及傳感器業務總監Jérémie Bouchaud指出,在今后5到10年內,智能手機以及平板電腦仍然是MEMS主要應用領域。今后MEMS的...
據麥姆斯咨詢報道,深迪半導體6軸IMU芯片SH200Q及支持光學防抖(OIS)功能的SH200L,于2017年10月正式進入量產。
隨著高端汽車與智能汽車的普及,以及無人駕駛技術的推進,超聲波傳感器、圖像傳感器、激光雷達傳感器、微波傳感器、紅外傳感器等也都被采用。汽車傳感器已經成為M...
蘇州鉭氪電子推出新款MEMS氫氣傳感器 可實現全量程的氫氣濃度檢測
在談到氫氣傳感器的前景時,蘇州鉭氪電子CEO沈方平說道:“在內燃機時代,氧氣傳感器作為汽車的一個關鍵傳感器,一直被國外壟斷。在氫能源時代,氫氣傳感器作為...
MEMS,微機電系統,是1959年12月由理查德·費曼最早提出的概念,是將微觀模擬機械元件機構、微型傳感器、微型執行器以及信號處理和控制電路、直至接口、...
電子發燒友網報道(文/李誠)隨著主動降噪、空間音頻、360度環繞立體聲的普及,以及芯片成本的不斷下探,徹底的引爆了TWS耳機市場,市場滲透率得到了顯著的...
功率半導體器件和MEMS傳感器將越來越多地用于智能手機和汽車等各種產品。越來越多的信息將以更低的功耗進行處理,并且有望通過傳感器網絡實現安全,可靠和智能的社會。
所謂開源飛控就是建立在開源思想基礎上的飛行自主控制器項目(Open Source AutoPilot),同時包含開源軟件和開源硬件,而軟件則包含飛控硬件...
據麥姆斯咨詢了解,廣州奧松電子有限公司6英寸MEMS半導體傳感器芯片生產線正式投入運營,成功量產出溫濕度、流量、氣體、差壓、風速等傳感器芯片,并為部分珠...
市場研究機構 IHS 的最新報告指出,在一個圍繞著蘋果(Apple)需求的復雜供應鏈中,全球微機電系統(MEMS)麥克風晶片市場變成由兩家龍頭供應商─...
隨著技術的不斷發展,微加速度計向著航天航空、工業控制檢測等領域發展,這要求微加速度計不僅要有高靈敏度,而且要有較寬的動態工作范圍。MEMS壓電微加速度計...
傳感器技術已日趨成熟,對于傳感器技術,大家可能有所了解。為增進大家對傳感器技術的認識,本文將對傳感器技術的發展歷程以及指紋傳感器技術予以介紹。如果你對本...
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