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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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代表我國(guó)傳感器領(lǐng)域頂尖科技水平的各高校全國(guó)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室統(tǒng)計(jì)名單
? “全國(guó)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室”被譽(yù)為“國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室”的升級(jí)版,代表了國(guó)家在相關(guān)領(lǐng)域的頂尖科技水平,堪稱“國(guó)之重器”。 2021年12月,中央經(jīng)濟(jì)工作會(huì)議指出:...
MEMS技術(shù)開始興起并且在消費(fèi)類市場(chǎng)將面臨三大挑戰(zhàn)
當(dāng)前MEMS傳感器的發(fā)展應(yīng)用將進(jìn)入一個(gè)新的輪回,市場(chǎng)重心從消費(fèi)電子重新轉(zhuǎn)向汽車及工業(yè)領(lǐng)域。對(duì)此,博世(Bosch)亞太區(qū)總裁Leopold Beer指出...
華為對(duì)外投資案例分析 華為對(duì)外投資的公司增加寧波潤(rùn)華全芯微電子
天眼查APP顯示,11月23日,寧波潤(rùn)華全芯微電子設(shè)備有限公司發(fā)生股東股權(quán)變更,新增華為旗下哈勃科技投資有限公司。 潤(rùn)華全芯微電子官網(wǎng)公開資料顯示,寧波...
ULVAC推出鋯鈦酸鉛壓電薄膜濺射技術(shù),廣泛應(yīng)用于MEMS器件中
PZT壓電薄膜是構(gòu)成MEMS傳感器和執(zhí)行器的關(guān)鍵技術(shù),但其制備工藝在過去很難實(shí)現(xiàn),傳統(tǒng)上主要采用低溫的涂覆方法(溶膠-凝膠法)。然而,在2015年,UL...
東大射頻與光電集成電路研究所王志功團(tuán)隊(duì)MEMS重磅突破
日前,東南大學(xué)射頻與光電集成電路研究所(射光所)王志功教授團(tuán)隊(duì)的王科平副研究員在集成電路與微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)協(xié)同設(shè)計(jì)方面取得重要進(jìn)展。 成果以Des...
2018-03-18 標(biāo)簽:MEMS 5800 0
ADI公司推出新型 ADXL35x MEMS加速度計(jì)系列
傳感器正成為工業(yè)基礎(chǔ)設(shè)施應(yīng)用的核心,應(yīng)用依賴MEMS進(jìn)行狀態(tài)監(jiān)控和結(jié)構(gòu)健康監(jiān)測(cè)。
據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,意法半導(dǎo)體(STMicroelectronics)近期推出了一款具有化學(xué)兼容性、穩(wěn)定性的高精度防水型MEMS壓力傳感器LPS33W,適...
2019-03-16 標(biāo)簽:mems意法半導(dǎo)體 5763 0
First Sensor攜手英飛凌展示MEMS激光雷達(dá)技術(shù)
傳感器專家First Sensor利用英飛凌(Infineon)MEMS微鏡掃描LiDAR演示系統(tǒng)展示其強(qiáng)大的APD系統(tǒng)性能。
8英寸MEMS代工線即將建成,MEMS產(chǎn)能有望位居全球首位
革命性的MEMS芯片及器件可以應(yīng)用于各行各業(yè),是在物聯(lián)網(wǎng)時(shí)代下,解決互聯(lián)網(wǎng)與真實(shí)世界鏈接的基礎(chǔ)元件,如探測(cè)真實(shí)世界的運(yùn)動(dòng)、壓力、光、熱、聲、磁等信號(hào),應(yīng)...
2018-07-14 標(biāo)簽:mems物聯(lián)網(wǎng) 5747 0
午芯高科國(guó)產(chǎn)首款“電容式”高分辨率MEMS氣壓計(jì)芯片上市
近期,全球芯片需求端旺盛、國(guó)產(chǎn)替代的迫切性將國(guó)產(chǎn)芯片產(chǎn)業(yè)推上了時(shí)代的舞臺(tái),初創(chuàng)企業(yè)如雨后春筍一般涌現(xiàn)。這片“欣欣向榮”背后所暗藏的危機(jī)也逐漸暴露出來,例...
西人馬發(fā)布8款壓阻式壓力芯片及6大系列壓阻式壓力傳感器
西人馬公司一直致力于先進(jìn)MEMS芯片及傳感器制造,擁有MEMS高端傳感器和芯片制造基地,此次發(fā)布的6款壓阻式壓力芯片由西人馬公司自主研發(fā)生產(chǎn),采用6寸M...
生命體征技術(shù):基于狀態(tài)的人體監(jiān)測(cè)
生物阻抗是另一種測(cè)量方法,可以為我們提供有關(guān)我們身體狀態(tài)的有用信息。阻抗測(cè)量提供有關(guān)我們的皮膚電活動(dòng)、身體成分和水合作用狀態(tài)的信息。每個(gè)參數(shù)都需要不同的...
MEMS微流體技術(shù)是即時(shí)醫(yī)療檢測(cè)及生物醫(yī)療,藥物研發(fā)的核心技術(shù),建立下一代智能微流體柔性工藝平臺(tái)是生物醫(yī)療創(chuàng)新研發(fā)的基礎(chǔ),市場(chǎng)潛力十分巨大。
賽微電子北京8英寸MEMS國(guó)際代工線啟動(dòng)量產(chǎn)
6月10日,賽微電子發(fā)布公告稱,北京賽微電子股份有限公司控股子公司賽萊克斯微系統(tǒng)科技(北京)有限公司(簡(jiǎn)稱“北京 FAB3”)代工的首批MEMS麥克風(fēng)芯...
Vesper應(yīng)該繼續(xù)專注于將壓電MEMS麥克風(fēng)推向市場(chǎng)
如果將薄膜厚度減半,就可以將薄膜面積和芯片尺寸縮小一半。雖然目前我們正在使用物理氣相沉積(physical vapor deposition,PVD)來...
振動(dòng)環(huán)境下MEMS加速度計(jì)的可靠性評(píng)估
本文研究的MEMS加速度計(jì)為壓阻式硅微加速度計(jì),量程為10 gn,其結(jié)構(gòu)如圖1所示。MEMS加速度計(jì)是由懸臂梁和質(zhì)量塊以及布置在梁上的壓阻組成,呈雙端四梁結(jié)構(gòu)。
MEMS熱電堆紅外傳感器生產(chǎn)線每日產(chǎn)能有5萬顆
據(jù)上觀新聞報(bào)道,伴隨著MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))熱電堆紅外傳感器生產(chǎn)線在上海建成,使上海燁映電子技術(shù)有限公司每日產(chǎn)能達(dá)到5萬顆傳感器。
29000字,揭露中國(guó)MEMS傳感器危機(jī):落后10年中高端90%靠進(jìn)口!(附最新優(yōu)秀企業(yè)名單)
在2022世界傳感器大會(huì)新聞發(fā)布會(huì)上,中國(guó)科協(xié)科技創(chuàng)新部副部長(zhǎng)林潤(rùn)華發(fā)言指出:與全世界生產(chǎn)的超過2萬種產(chǎn)品品種相比,中國(guó)國(guó)內(nèi)僅能生產(chǎn)其中的約1/3,整體...
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