MEMS加速度計(jì)的工作原理及設(shè)計(jì)方法
演示文稿中介紹了加速度在生活中的現(xiàn)象，并基于生活中的加速度現(xiàn)象引申到MEMS加速度計(jì)的工作原理。詳細(xì)介紹了胡克定律和牛頓第二定律，以及如果結(jié)合這兩個(gè)定律來(lái)推導(dǎo)出加速度的測(cè)量方法。演示文稿中還給出了芯片級(jí)加速度計(jì)的運(yùn)動(dòng)示意，以及它的一些設(shè)計(jì)方法，難點(diǎn)和信號(hào)鏈。
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