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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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2022年8月,世界權威半導體市場研究機構Yole發(fā)布了《MEMS產業(yè)現(xiàn)狀2022》,根據其統(tǒng)計的2021年數(shù)據,承2019、2020年,賽微電子全資子...
在微機電系統(tǒng)(MEMS)工藝中,沉積金屬作為掩模是目前較為常用的方法。金屬掩模的制備一般采用濺射與電鍍結合的方式,在襯底上先濺射用于電鍍工藝所沉積金屬的...
SENSOR CHINA 2017:國內熱門物聯(lián)網應用創(chuàng)新案例和商用程度大檢視
據Yole Développement數(shù)據顯示,MEMS和傳感器市場規(guī)模將從2016年的380億美元增長至2021年的660億美元,復合年增長率達12%...
2017-09-05 標簽:傳感器mems智能家居主題區(qū) 2468 0
隨著微處理器,嵌入式系統(tǒng)和其他模塊(尤其是微機電系統(tǒng)(MEMS)傳感器)的小型化,電子產品中的傳感器正在以非常快的速度發(fā)展。
賽微計劃在北京懷柔建設6/8英寸MEMS晶圓中試生產線和研發(fā)平臺
MEMS屬于集成電路行業(yè)中的特色工藝。賽微電子MEMS業(yè)務經營采用“工藝開發(fā)+代工生產”的模式,MEMS工藝開發(fā)業(yè)務是指根據客戶提供的芯片設計方案,以滿...
一 MEMS加速度計所用的材料 例如用于做襯底的襯底材料,用于做掩膜的掩膜材料,用于表面微加工的犧牲層材料等等。Mems加速度計常用的材料有單晶硅、二氧...
一、美國專利數(shù)量遠多于中國專利,國外技術研發(fā)水平大幅領先。經過對比可知,硅基MEMS制造技術領域美國專利數(shù)量遠多于中國。其中,美國授權專利數(shù)量達4411...
在當今科技飛速發(fā)展的時代,傳感器技術的不斷進步為眾多智能設備的發(fā)展提供了強大的支持。其中,國產士蘭微六軸陀螺儀以其出色的性能和廣泛的應用,成為了傳感器領...
壓力傳感器廣泛應用于醫(yī)療設備、自動化、液壓和航空航天等領域,用于測量氣體或液體所受的力。大多數(shù)安裝的壓力傳感器采用MEMS技術,使用壓阻或電容測量原理。...
碳納米管由于其良好的電學性能、優(yōu)異的力學性能,近年來被廣泛應用于納米機電系統(tǒng)(NEMS)的相關研究,在質量、微力、氣體、位移等物理量的測量方面也具有廣闊...
2020-04-16 標簽:mems諧振器機電系統(tǒng) 2455 0
與大多數(shù)電子元件一樣,MEMS的成本由開發(fā)和資本支出決定。內容的日益復雜,尤其是在接口ASIC和軟件中,使得MEMS開發(fā)成為一個多學科的壯舉,需要跨多個...
摘要:中國科學院微電子研究所毛海央研究員課題組與中國科學院長春光機所李紹娟研究員課題組、中北大學熊繼軍教授課題組合作,通過使用等離子體轟擊聚合物工藝并結...
2021中國IC風云榜“年度最具成長潛力獎”征集現(xiàn)已啟動!入圍標準要求為營收500萬-1億元的未上市、未進入IPO輔導期的半導體行業(yè)優(yōu)秀企業(yè)。評選將由中...
1月19日,賽微電子發(fā)布投資者調研相關信息,該公司自2020年9月底,其8英寸MEMS國際代工線建成并達到投產條件。
Nanox在韓國建立MEMS芯片制造廠,將是數(shù)字X射線設備的關鍵元件
據麥姆斯咨詢報道,以色列醫(yī)學影像技術公司Nanox Imaging(以下簡稱:Nanox)將在韓國設立子公司,以擴大Nanox數(shù)字X射線設備的關鍵源半...
電子發(fā)燒友網報道(文/李寧遠)現(xiàn)代陀螺儀是一種能夠精確地確定運動物體的方位的儀器,是現(xiàn)代航空,航海,航天和國防工業(yè)中廣泛使用的一種慣性導航儀器。光纖陀螺...
2023-10-24 標簽:mems 2425 0
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