摘要：中國科學院微電子研究所毛海央研究員課題組與中國科學院長春光機所李紹娟研究員課題組、中北大學熊繼軍教授課題組合作，通過使用等離子體轟擊聚合物工藝并結合金屬納米顆粒的磁控濺射工藝，得到了一種對偏振和入射角不敏感的寬譜高吸收復合納米森林結構，通過將該結構原位集成于MEMS熱電堆傳感器上實現(xiàn)了器件輸出電壓的顯著提升。

該成果以”Quasi-ordered nanoforests with hybrid plasmon resonances for broadband absorption and photodetection” 為題發(fā)表在《Advanced Functional Materials》上。

太陽能被認為是一種可再生、免費、清潔和廣泛可用的能源，寬光譜高吸收結構體可以高效率地利用太陽能。近年來，探索在寬光譜范圍內具有高吸收系數(shù)的材料或結構引起了廣泛關注。基于等離激元共振效應的光吸收材料與結構因其在特定范圍內超高的吸收率以及超強的光-電、光-熱轉化能力而受到廣泛關注。

但是，可激發(fā)等離激元共振效應的傳統(tǒng)結構其高吸收波段的帶寬一般較窄，大大降低了對光的利用效率，限制了結構的應用。另外，傳統(tǒng)制備等離激元結構的工藝一般較為復雜，常需依賴尖端設備，這也進一步限制了它們與微器件的大規(guī)模集成應用。

作者創(chuàng)新性地利用銀納米顆粒包裹的準有序納米森林結構（Ag-QNF）來實現(xiàn)多重雜化等離激元共振效應，得到了太陽光譜（300nm-2500nm）范圍內的高吸收，且對光的偏振和入射角度不敏感。這種結構制備簡單，又具有良好的工藝兼容性，可原位集成在MEMS熱電堆傳感器上，實現(xiàn)器件性能的顯著提升。

本文亮點

1. 利用在聚酰亞胺（PI）中添加硅烷偶聯(lián)劑（SCA）并使用等離子體轟擊的方法，通過簡單的工藝流程制備了準有序納米森林結構。

2. 利用銀納米顆粒包裹的準有序納米森林結構（Ag-QNF）實現(xiàn)了多重雜化等離激元共振效應，得到了太陽光譜（300nm-2500nm）范圍內超過90%的吸收率。

3. 將結構原位集成于MEMS熱電堆傳感器上，相比于原來的熱電堆器件，實現(xiàn)了433%的輸出電壓提升。

4. 工藝簡單，兼容性好，可以批量生產，有望在更多的光電器件中應用。

作者簡介

【第一作者】李茂，中國科學院微電子研究所碩士研究生

【通訊作者】毛海央，中國科學院微電子研究所研究員

【通訊作者】李紹娟，中國科學院長春光學精密機械與物理研究所研究員

【通訊作者】熊繼軍，中北大學教授

文獻信息

題目：Quasi-ordered nanoforests with hybrid plasmon resonances for broadband absorption and photodetection

文獻鏈接

https://doi.org/10.1002/adfm.202102840

編輯：jq