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      電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>半導體技術論文>集成電路制造工藝狀態的表達與跟蹤監控

      集成電路制造工藝狀態的表達與跟蹤監控

      2012-02-13 | pdf | 196 KB | 次下載 | 免費

      資料介紹

      文章提出了對PCM 參數進行正交化而建立起一套廣義參數, 再以廣義參數為基礎構建工藝狀態空間的技術。在工藝狀態空間中, 作為工藝結果的測試值集的數據分布為多維橢球體; 該橢球體隨生產的進行而呈現出連續性的形變, 因此, 跟蹤這種形變, 就實現了對工藝狀態的監控。提出了將特定批次工藝狀態與參照態進行狀態比較的相似度指標計算公式, 在多維空間中實現了整體性的統計工藝控制( SPC) 。進一步地, 由于狀態空間中各坐標基矢的特定指向與工藝失效因素一一對應, 對失效工藝的診斷與糾正也變得易于進行
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