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      電子發燒友網>電子資料下載>電子教材>硅基AlN薄膜制備技術與測試分析

      硅基AlN薄膜制備技術與測試分析

      2011-06-24 | pdf | 121 KB | 次下載 | 免費

      資料介紹

      ?

      采用直流磁控反應濺射法,在Si(100),Al/Si(100)和Pt/Ti/Si(100)等多種襯底上制備了用于MEMS器件的AlN薄膜.用XRD和AES對薄膜的結構和組分進行了分析,通過優化工藝參數,得到了提高薄膜擇優取向的方法,并分析了不同襯底上AlN晶粒生長的有關機理.制備的AlN薄膜顯示出良好的<002>擇優取向性,搖擺曲線的半高寬達到5.6l.
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