本文簡單介紹了厚膜與薄膜的定義與區(qū)別。

在半導體制造領域，我們經常聽到“薄膜制備技術”，“薄膜區(qū)”，“薄膜工藝”等詞匯，那么有厚膜嗎？答案是：有。

什么是薄膜與厚膜？

薄膜，thin film，一般以nm為單位，是非常薄的膜層。對于厚膜與薄膜，沒有非常嚴格的定義，我將厚度在1000nm（1um）以內的膜層歸為薄膜。薄膜由于其相對較小的厚度和尺寸，通常可以被視為二維形式的物質，只能附著在基材上。

厚膜，thick film，一般以um為單位。厚度遠大于薄膜，大約在幾微米到幾十微米之間。厚膜不完全需要基材，可獨立制作。

薄膜與厚膜的區(qū)別是什么呢？

應用區(qū)別

薄膜主要應用在半導體，光伏，光學，液晶領域中。

而厚膜主要應用在無源電子元件（如電阻器、電容器和電感器），單片機，傳感器，混合集成電路等領域。

制作工藝區(qū)別

常見的薄膜沉積技術包括物理氣相沉積（PVD），化學氣相沉積（CVD），原子層沉積（ALD），外延等。

厚膜常用絲網印刷，噴涂，旋涂，電鍍等方式制作。

精度區(qū)別

由于薄膜層較薄，通常精度和準確度更高，從而可以更好地控制薄膜的特性。而厚膜元件的精度較低。

成本區(qū)別

厚膜制造工藝簡單，成本較低，適合更廣泛的應用。而薄膜制造需要昂貴的機臺與維護成本。

厚膜的絲網印刷工藝流程？

絲網印刷是制作厚膜電子器件的一種常見工藝，一般流程為：

1，準備漿料：漿料是厚膜工藝中的關鍵材料，一般分為5種類型，即導體漿料、電阻漿料、電介質漿料、絕緣漿料和封裝漿料。

2，準備絲網模板

3，印刷：將準備好的漿料放置在絲網模板上方，使用刮刀或橡膠刮板均勻地將漿料通過絲網的開孔區(qū)域壓印到下方的基底上形成預定的圖案。

4，干燥和燒結：印刷完成后，基底需要經過干燥和燒結過程。干燥通常在較低溫度下進行，以去除漿料中的溶劑。燒結則在高溫下進行，通常在幾百到上千攝氏度之間，以形成結實的厚膜結構。

審核編輯：劉清