根據19日***地區環保署所召開的環評大會決議，晶圓代工龍頭臺積電預計斥資新臺幣6，000億元，于南科興建3納米廠的計劃，在經濟部能源局、水利署、以及臺電掛保障，在供電與供水都將無虞的情況下，環評委員已決議通過南科園區環境差異變更計劃。

臺積電3納米新廠之前已確定落腳南科，而南科管理局也向環保署提出環境差異變更計劃，將變更園區用水量、污水放流量、污水廠處理容量及用電量等。不過，對于之前環保團體提出質疑的電力與水利供給疑慮，包括能源局、水利署、臺電表示，供電方面，包括再生能源以及發電機組都已汰舊換新情況下，供應臺積電3納米廠所需的75萬千瓦用電將無虞。

另外，在供水部分，水利署則是表示，開源措施都能順利完工，加上再生水發展等應對下，供水也沒問題。因此，整個環評大會在歷時2個小時說明之下，環評委員最后決議南科園區環境差異變更計劃審核修正通過。而且，經濟部和臺南市政府得配合此案量產用電時程，協助優先滿足該案再生能源發電。

事實上，臺積電總裁魏哲家此前在供應鏈論壇上表示，3納米將成為帶領推動***半導體產業繼續成長的動能。而預計在環評順利通過后，將按照原本臺積電的規劃，這座3納米廠將在2020年建廠，2021年開始安裝，之后預估經過18個月的認證，在2022年底到2023年初開始量產。

不過，此前臺積電的競爭對手，韓國三星已經放話，目前旗下的3納米廠已經完成相關認證，目前正在進行相關制程的優化中，預計在2020年正式量產，正式超車臺積電。因此，面對三星的來勢洶洶，臺積電3納米制程的發展就成為攸關勝負的關鍵。如今建廠環評通過，兩家公司的競爭再次白熱化，究竟是先馳得點，還是后發先至，未來還有待觀察。