近段時間，中美貿易之間的對弈牽動了很多行業的發展方向，其中微電子行業的相關問題最為突出。綜合來看，我國的微電子行業還處于發展階段，核心技術的缺失及制造工藝方面的不足在此次中美貿易摩擦中尤為明顯。當然，實現微電子行業的穩定發展，除了擁有自主的技術研發，還包括很多基礎硬件建設和環境保障等方面的因素。在這諸多環節中，微電子制造行業所必須的工業潔凈廠房就顯得十分重要。

“襁褓中的花朵”

從生產層面上看，微電子產品的制造工序復雜且繁多，其中許多關鍵工藝需要在恒溫、恒濕、超潔凈的無塵環境下進行。但其中部分大中型生產設備會釋放出高濃度顆粒物和化學物質，這些物質都會引發生產的良品率下降及其他生產安全隱患。因此，微電子行業在生產過程中對工業潔凈廠房的設計和潔凈效果有非常高的要求和技術標準。

國際半導體設備以及材料協會SEMI發布的關于-AMC（化學氣態分子污染物）分類標準

微電子行業的工業潔凈廠房一般是相對密閉的空間，通常高級別潔凈廠房的凈化空調系統采用布置靈活的FFU送風方式，該方式解決了傳統送風方式不能使用工藝布局和凈化等級要求變化的問題。不過，微電子行業的工業潔凈廠房設計和實施是一項綜合技術，并非只是安裝設備那么簡單，只有充分了解微電子行業工業潔凈廠房的設計特點，做到設計合理和選型適當，才能滿足其對空氣潔凈效果的嚴苛標準和要求。

為“中國芯”護航

隨著中國逐漸從“制造大國”向“智造大國”轉型，國內涌現出一批知名的高科技制造企業，多個高科技項目也在全國多地落實并實施。近期在合肥投建的合肥長鑫集成電路12寸晶圓廠尤為引人注目，該晶圓廠將重點研發19nm制程工藝生產DRAM（動態隨機存取存儲器），項目投產后，最大月產高達12.5萬片規模，將有效地填補國內高端DRAM制造業的空白，在全球DRAM生產廠商中占得一席之地。除此之外，該項目的投產也將帶動整個地區包括設備、材料、終端等多方面的綜合發展。可以說，該晶圓廠的投產將加速合肥市產業轉型升級的步伐。有消息表明，到2025年中國將投產新建約25條12寸晶圓項目，一舉打破國外公司的壟斷體系。

不過，該晶圓廠在廠房建設、設備采購過程中也遇到了一些困難。從技術角度看，在使用19nm制程工藝生產DRAM時，該工藝下黃光光刻區對AMCs氣體極其敏感，工作區域中的潔凈空氣質量稍有偏差就會直接影響最終生產的良品率，所以，整個生產環節中都需要嚴格控制AMCs制程環境濃度值。因此，他們對工業潔凈產房的空氣凈化解決方案提出了嚴格要求：需要按照不同區域的要求控制AMCs的指標，同時需要分子過濾器初始效率達到90%以上，最終效率達到70%，使用壽命大于一年。

AAF作為潔凈空氣解決方案的全球領導者，在近百年的歷史中一直致力于為微電子行業開發高效節能的過濾解決方案，包括顆粒物和AMC (分子氣態污染物) 過濾，全系列產品覆蓋了粗中高效空氣過濾器、化學過濾器、高效送風口、FFU/EFU、層流罩及DBS化學氣體尾氣排放處理等凈化設備。應對這種高等級并復雜的潔凈工藝的需求，AAF采用了FFU加載化學氣體處理的解決方案，在FFU上方疊加兩臺化學過濾器，并提供了AMCs現場采樣測試，對實際環境中的空氣質量數據進行快速準確的提取和整理，并依此制定合理的解決方案。

其中，AAF AstroFan? FFU配套了 MEGAcel?ePTFE高效&超高效過濾器，搭載VariSorb?CE化學過濾器的整體潔凈解決方案。方案實施后，生產區域的空氣整體凈化效果及相關測試驗證得到了客戶的認可。

品控嚴格，測試體系完備

一直以來，AAF以保護環境、降低企業風險和減少空氣凈化支出為己任，從某種程度上來說，其產品的精益求精同樣來源于自身的實踐。AAF本身就擁有高潔凈等級的萬級PTFE潔凈室、高效過濾器潔凈室和FFU潔凈室，以及工商業過濾器生產線。AAF以先進的設備、標準化的生產工藝和嚴苛的質量標準進行生產。

并且AAF 擁有一套完備的測試體系。從粗中效過濾器到高效、超高效過濾器，乃至過濾設備，AAF皆依據行業最先進的測試標準，對產品性能進行全方位的檢測。

2016年9月，AAF在美國印第安納州成立了清潔空氣創新與研究中心，展現出了致力于革命性地改變空氣過濾的決心。該中心代表了AAF和全球空氣過濾行業在研究、開發和測試方面取得的重大進展。AAF清潔空氣中心的工程師和科學家正在將下一代高性能空氣過濾產品和設備推向市場。