Silicon Microstructures, Inc.（SMI）推出了SM933X系列超低MEMS壓力傳感器系統。這款完全溫度補償和壓力校準的系列壓力傳感器，壓力范圍低至125 Pa（0.50 inH2O），能夠為HVAC（暖通空調）、工業和醫療應用提供精準的壓力傳感。SMI通過將其獨有的MEMS壓力換能器和最先進的信號調理IC整合在一個封裝中，實現了行業領先的輸出精度（1%FS）和長期穩定性。

SMI差壓傳感器在醫療領域的應用

該系列差壓傳感器系統提供兩種配置：壓力范圍為+/- 125 Pa（0.50 inH2O）的SM9333，以及壓力范圍為+/- 250 Pa（1 inH2O）的SM9336。其16位分辨率能夠解析低至0.0038 Pa的信號。此外，其卓越的預熱性能和長期穩定性，進一步確保了使用壽命內的預期性能。

SMI新款SM933X系列超低MEMS壓力傳感器的性能優勢SM933X系統供電電壓范圍為3.0~5.5 V，憑借其低電流消耗和睡眠模式，非常適合低功耗應用。其ASIC架構和更高階的濾噪功能，提供了低噪聲和極低的EMI敏感度。采用具有雙垂直端口的小型SO16封裝，使其便于系統集成和壓力連接，此外，其MEMS傳感器本身爆裂壓力高，堅固耐用，幾乎沒有安裝或振動敏感度。主要應用：HVAC、CPAP以及壓力變送器SM933X系列傳感器是流量傳感應用的最佳解決方案，無論管道長度如何，均可提供卓越的高性能表現，且不受氣流中的顆粒物影響。它非常適于作為HVAC傳感器，確定可變風量（VAV）中的空氣流量，以及檢測過濾器的清潔度（例如空氣處理單元AHU中的過濾器）。在醫療應用市場，超低壓力傳感器常用于CPAP（持續正壓通氣，呼吸機）流量傳感。SM933X系列傳感器憑借對安裝方向不敏感，以及高分辨率和低噪聲性能，使其更易于在CPAP流量傳感器中集成和使用。

此外，SM933X系列傳感器改進了工業應用中的壓力測量，利用一個小型封裝中的單個傳感器系統，替代了昂貴、笨重的多組件設備，并提供了長期的穩定性。其主要應用包括壓力變送器和壓力開關?！癝MI從90年代中期開始一直處于MEMS低壓傳感器領域的領先位置，憑借SM933X系列的推出，該公司希望在該領域繼續領先下一個十年，”SMI總裁兼首席執行官Omar Abed說，“我們收到了來自主要客戶的非常積極的反饋，我們相信這一新產品系列的推出，將為2 inH2O以下超低壓力傳感器樹立新的標桿，并在醫療和工業領域的流量和超低壓應用中引入新一波創新浪潮。

”關于Silicon MicrostructuresSilicon Microstructures是Elmos全球半導體集團的成員企業，該公司基于特定應用的IC、傳感器和完整的微系統，為各行各業提供經過市場驗證的解決方案。Silicon Microstructures通過了ISO相關認證，是一家MEMS壓力傳感器主要開發商和制造商，服務各類市場超過25年。Silicon Microstructures的設計、生產和質量控制流程，使其能夠開發當今市場上最靈敏、最小的MEMS壓力傳感器。