在高端科研儀器國產化進程中，致真精密儀器持續以技術創新與場景化解決方案賦能科研與產業升級。近期，致真自主研發的原子力顯微鏡（AFM）產品成功交付探生科技、東北大學、廈門大學等多家標桿客戶，針對不同領域的科研與產業需求，提供了兼具性能優勢與定制化功能的高端檢測設備，標志著國產 AFM 在多領域應用場景中的全面落地。

一、探生科技：多功能模塊支撐探針驗證

探生科技采購的致真 AtomExplorer 型原子力顯微鏡，憑借集成的多功能模塊，為客戶自研探針的各類驗證提供了有力支持，成為其研發平臺的核心裝備。這款科研級原子力顯微鏡具備亞納米級高分辨率，能夠精準觀察材料表面形貌與紋理，無論是納米級別的細微結構，還是微米級別的宏觀特征，都能清晰捕捉，為材料與芯片表面形貌分析提供詳盡的視覺信息。

在功能拓展方面，Atom Explorer 還集成了磁力顯微鏡、靜電力顯微鏡、開爾文顯微鏡、壓電力顯微鏡等多種功能模塊。其穩定性強、可拓展性良好，能夠根據客戶需求提供定制化服務。

二、東北大學：自動化儀器賦能高效科研

針對材料科學與智能制造領域的高頻檢測需求，東北大學采購的致真AtomEdge 型原子力顯微鏡，以 "智能化 + 易用性" 重新定義科研設備操作范式。設備自動化程度高，操作流程簡單無需過多設置；機械結構設計合理，換針操作簡單，顯著降低科研人員的技術門檻，尤其適合多課題組共享使用場景。

三、廈門大學：多功能集成打破學科壁壘

廈門大學采購的致真AtomExplorer 型原子力顯微鏡，一套設備實現多種功能，包含形貌表征（輕敲模式、接觸模式）、磁學測量（MFM 磁力顯微鏡）、電學分析（EFM 靜電力顯微鏡、KPFM 開爾文探針力顯微鏡、PFM 壓電響應力顯微鏡、STM 掃描隧道顯微鏡）等前沿功能，覆蓋材料科學、凝聚態物理、電子信息等多個學科的檢測需求，吸引了多個課題組前來培訓學習。

四、國產高端儀器的破局之道：

從技術領先到場景深耕

1.科研級原子力顯微鏡 AtomExplorer

產品簡介：

AtomExplorer科研級原子力顯微鏡具備亞納米級高分辨率，用于觀察材料表面形貌、紋理，能夠在納米級別到微米級別的尺度上捕捉材料表面的微小特征和細微結構，為材料與芯片的表面形貌提供詳盡的視覺信息。該產品還集成了磁力顯微鏡、靜電力顯微鏡、開爾文顯微鏡、壓電力顯微鏡；穩定性強，可拓展性良好，提供定制服務。該產品作為高精度形貌表征和納米磁學、電學測量工具，為高端科研與企業生產研發提供更多選擇和助力。

產品特點：

體積小巧，適用于各種實驗室環境

標配靜電力(EFM)、壓電力(PFM)、磁力(MFM)、開爾文(KPFM)

軟件開放 可以用Labview調用

設備性能：

2.小樣品原子力顯微鏡AtomEdge

產品簡介：

AtomEdge小樣品原子力顯微鏡可對材料、電子器件、生物樣本等進行三維掃描成像。本產品最大可兼容4英寸樣品，具備接觸、輕敲、非接觸等多種工作模式，為用戶提供了更為靈活和精準的操作選擇。此外，它還集成了磁力顯微鏡、靜電力顯微鏡、掃描開爾文顯微鏡、壓電力顯微鏡、刻蝕和納米操作等多種功能模式，穩定性強，可拓展性良好。根據實際需求，還可拓展近場光學、拉曼/熒光光譜聯用、外加磁場、聲學原子力等功能，是一款真正意義上的小樣品原子力顯微鏡。

設備性能：

應用案例：

3.大樣品原子力顯微鏡AtomMax

產品簡介：

利用微懸臂探針結構可對導體、半導體、絕緣品等固體材料進行三維樣貌表征，可實現大晶圓級大樣品形貌表征。電動樣品定位臺與光學圖像相結合，可在 300X300 mm 區域實現1μm的定位精度，激光對準，探針逼近和掃描參數調整完全自動化操作。

設備性能：

應用案例：

此次多領域交付，不僅展現了致真 AFM 在噪聲控制（開環縱向噪聲低至 0.03nm）、分辨率（三維納米級）、環境兼容性（空氣、液相）等核心性能上的國際對標實力，更體現了其 "以客戶需求定義產品" 的研發理念 —— 針對產業客戶強調模塊化與效率，針對高校客戶側重多功能與易用性，真正實現 "一客一策" 的精準賦能。

隨著半導體、新能源、生物醫藥等戰略新興產業對納米表征技術的需求爆發，致真正以 "國產儀器 + 場景化解決方案" 雙輪驅動，致力于加速實現高端科研裝備的自主可控，為中國科技創新注入 "硬核" 力量。

關于我們

致真精密儀器是以高端科研儀器、教學儀器、集成電路產線測試設備研發與生產為主要業務的國家高新技術企業、山東省瞪羚企業、國家專精特新“小巨人”企業。

一直以來致力于實現高端科技儀器和集成電路測試設備的自主可控和國產替代。致真精密儀器通過工程化和產業化攻關，已經研發了一系列磁學與自旋電子學領域的前沿科研設備，包括“原子力顯微鏡、高精度VSM、MOKE等磁學測量設備、各類磁場探針臺、磁性芯片測試機等產線級設備、物理氣相沉積設備、集成電路裝備實訓解決方案”等，如有需要，我們的產品專家可以提供免費的項目申報輔助、產品調研與報價、采購論證工作。

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