在半導體行業的核心—晶圓制造中，材料的選擇至關重要。PEEK具有耐高溫、耐化學腐蝕、耐磨、尺寸穩定性和抗靜電等優異性能，在晶圓制造的各個階段發揮著重要作用。其中晶圓夾用于在制造中抓取和處理晶圓。注塑加工的PEEK晶圓夾的耐磨性和低排氣性能使其成為晶圓制造的理想工具，確保了晶圓表面的清潔和完整性。

PEEK晶圓夾——提升晶圓制造效率與良率

1.PEEK晶圓夾能夠在260℃的高溫環境下長期使用，且保持高強度、尺寸穩定和較小的線脹系數。因其耐滑動磨損和微動磨損性能優異，在夾取晶圓、硅片時不會對表面產生劃痕或殘留物，從而確保了晶圓、硅片的表面潔凈度。

2.其出色的防靜電特性，表面電阻率可達10^5-10^10Ω，夾頭部分更是高達10^7-10^8Ω，有效防止了瞬間靜電放電對硅晶片的破壞，為晶片提供了全方位的保護。

注塑工藝——PEEK晶圓夾的加工關鍵

注塑成型是PEEK晶圓夾具制造的核心工藝，對產品的質量和性能有著決定性的影響。

1.在注塑加工過程中，PEEK需要在360℃至400℃的高溫下熔化，通過精確控制注塑壓力和注射速度，確保材料能夠充分填充模具。

2.模具設計是重要環節，需要考慮PEEK的低熱膨脹系數和收縮率，以保證夾具在冷卻后的尺寸精度。

3.加工設備的精度和穩定性也至關重要。先進的注塑機能夠實時監測和調整溫度、壓力等參數，確保生產過程的穩定性。

4.后處理環節包括熱處理以去除殘余應力，以及表面處理以提升夾具的耐磨性和抗靜電性能。

通過注塑成型技術和精密的工藝控制，PEEK晶圓夾不僅能夠實現復雜結構和高精度的制造，還能顯著降低生產成本，大幅提升生產效率。隨著半導體制造技術的持續進步，注塑加工PEEK晶圓夾將繼續發揮其優異之處，為行業提供更加高效、可靠的解決方案，推動半導體行業發展。

瑞璐塑業專注于特種工程塑料零部件成型及其應用開發，專注于工程塑料：PE、PPSU、PSU、PPS、PI、PEI等材料的注塑加工，集手板打樣、模具制作、精密注塑、成品裝配一站式解決方案。

審核編輯 黃宇