一、無錫泓川科技(國產品牌,性價比高)
無錫泓川科技有限公司專注于光學測量與檢測領域,其核心產品LTC系列光譜共焦位移傳感器以高精度、強適應性為特色。該系列具備亞微米級測量精度(最小靜態噪聲僅3nm)、±60°超大測量角度及30kHz高速采樣能力,可精準測量鏡面、透明/多層材料、深孔內壁等復雜表面,并支持薄膜厚度檢測。
產品涵蓋超精密型、緊湊型等多樣化型號,量程從±0.05mm至±25mm,滿足工業場景中模具磨損檢測、晶圓定位、曲面屏掃描等需求。配套控制器支持多通道同步測量(最高16通道)及多種工業接口(EtherCAT/USB/模擬量等),適配自動化產線集成。
通過定制化光學優化與雜散光抑制技術,LTC系列在手機屏幕檢測、醫療玻璃管測厚等場景展現卓越性能,成為精密制造領域的高效解決方案。
1、產品系列概覽
類別 | 典型型號 | 核心特點 | 適用場景 |
---|---|---|---|
超精密測量 | LTC100B/LTC400 | 0.03μm精度,IP67防護 | 半導體晶圓檢測、光學元件測量 |
工業通用型 | LTC2000/LTC6000 | 1-50mm量程,±0.6μm線性誤差 | 3C產品裝配、精密機械制造 |
大范圍測量 | LTC50000 | 100±25mm量程,φ50μm光斑 | 汽車零部件、金屬加工 |
特殊結構型 | LTCR1500/LTCR5000 | 90°側向出光,φ3.8mm微型探頭 | 深孔/內壁測量、微型結構檢測 |
高速動態測量 | LTC7000系列 | 20kHz采樣率,抗振動設計 | 動態生產線監測 |
2、關鍵性能指標
測量精度:
分辨率:3nm(LTC100B)
線性誤差:±0.03%F.S.(行業領先)
環境適應性:
工作溫度:0-50℃(<0.03%F.S./℃溫漂)
防護等級:IP40/IP67可選
光斑特性:
最小φ1.7μm(微結構檢測)
QUAD四光斑技術(消除表面粗糙影響)
系統響應:
最高30kHz采樣率(LT-CCH控制器)
支持16通道同步測量
LT-C系列控制器:
多協議接口:EtherCAT/Profinet(工業4.0兼容)
同步觸發:支持ABZ編碼器輸入(≤4MHz)
數據輸出:
模擬量:±10V/4-20mA
數字量:Modbus TCP/RS485
軟件生態:
TSConfocalStudio專業測控軟件
二、CHUANTEC(國產品牌)
Chuantec深耕光學測量技術,以非接觸式高精度檢測為核心,產品覆蓋半導體、3C電子、汽車制造、醫療器械等領域,提供從傳感器到系統集成的全鏈條解決方案。
HCY系列產品亮點
靈活配置
光斑可選:A型(小光斑)適用于微米級細節檢測(如芯片劃痕、精密部件輪廓),B型(大光斑)適配粗糙表面或快速掃描場景。
通道擴展:支持一拖一(HCY501)與一拖二(HCY502)模式,實現單探頭獨立測量或多探頭同步檢測,提升產線效率。
高精度與穩定性
基于4096次平均測試優化參考距離,降低隨機噪聲,確保數據重復性精度達亞微米級。
適應鏡面、透明/多層材料、深孔內壁等復雜表面檢測。
工業級設計
緊湊型結構(如HCY01045、HCY04025等型號)適配狹小空間安裝,抗振動與電磁干擾,滿足車間嚴苛環境。
應用場景
3C電子:手機屏幕玻璃厚度、曲面屏弧度檢測。
半導體:晶圓翹曲度、封裝膠層均勻性測量。
汽車制造:發動機缸體內部尺寸、精密齒輪跳動量檢測。
典型型號示例
型號 | 特點 | 適用場景 |
---|---|---|
HCY501A | 小光斑單探頭,精度優先 | 微觀缺陷檢測、薄膜測厚 |
HCY502B | 大光斑雙探頭,高效同步 | 產線多工位并行測量 |
HCY03560 | 中量程緊湊設計,抗干擾性強 | 機械部件磨損監控、內壁檢測 |
技術優勢
多兼容接口:支持工業現場總線(如EtherCAT)、模擬量輸出,無縫對接PLC及自動化系統。
定制化服務:提供光斑尺寸、量程、探頭角度的非標定制,適配特殊檢測需求。
三、拓普儀器(國產品牌)
旗下推出的高精度測量設備,采用彩色激光光譜共焦技術,具備以下核心優勢:
卓越性能
分辨率達5nm,線性度±0.02%F.S.,光斑最小僅7μm,適用于微米級精密測量。
支持透明/非透明材料的位移、厚度及多層結構測量(如玻璃、晶圓),可實時輸出TTV、粗糙度等數據。
靈活適配
提供多型號測頭(如grook-Fc量程±1800μm,grook-Fd量程±5500μm),適應不同安裝距離(13.2mm至36.5mm)和傾角(最高±45°),滿足孔內、側壁等復雜場景。
智能集成
內置以太網通訊(4.5kHz采樣)、5路I/O接口及編碼器同步功能,可直接連接PLC實現自動化控制。
獨創grook-- Pro軟件,簡化編程流程,支持可視化觀測光斑位置,提升開發效率。
行業突破
動態穩定性較常規型號提升4倍,光強波動降低90%,無外貿管制限制。
可測厚度范圍覆蓋20μm至16.5mm,支持中空層、夾膠玻璃等復雜結構分析。
應用領域:半導體晶圓檢測、鏡片厚度測量、3D表面輪廓掃描、工業在線質檢等,助力高精度制造與科研創新。
四、基恩士KEYENCE(進口品牌)
基恩士(KEYENCE)是全球領先的工業自動化設備制造商之一,其光譜共焦傳感器(Chromatism Confocal Sensor)是一種基于光譜共焦原理的高精度非接觸式測量設備,廣泛應用于工業檢測、精密測量和表面輪廓分析等領域。以下是關于該技術的詳細介紹:
1.光譜共焦技術原理
光譜共焦技術利用光的波長特性進行測量。其核心原理是:
波長編碼聚焦:傳感器發射包含多種波長的白光,通過特殊透鏡(色差透鏡)使不同波長的光聚焦在不同位置上。
反射光分析:當光線照射到被測物體表面時,只有特定波長的光會反射回傳感器。通過分析反射光的波長,即可確定物體表面到傳感器的距離。
高精度定位:由于每個波長對應唯一焦點位置,測量精度可達微米(μm)甚至納米(nm)級。
2.基恩士光譜共焦傳感器的特點
非接觸測量:無需接觸被測物體,避免因接觸造成的損傷或誤差。
高精度:分辨率可達0.01 μm,適用于超精密檢測(如半導體、光學元件)。
多材質兼容性:
可測量透明材料(玻璃、樹脂)、高反光表面(金屬、鏡面)、多層材料等傳統傳感器難以處理的物體。
抗干擾能力強:不受環境光、振動或表面顏色影響。
高速測量:部分型號支持每秒數千次的測量速度,適用于動態檢測場景。
緊湊設計:傳感器體積小巧,易于集成到自動化生產線或復雜設備中。
3.典型應用場景
透明材料檢測:測量玻璃厚度、樹脂涂層、薄膜等。
鏡面表面測量:金屬拋光面、鏡面缺陷檢測。
3D輪廓分析:復雜曲面、微小結構(如芯片焊點、微機械零件)的形貌測量。
在線質量控制:實時監測生產過程中的尺寸、平整度或間隙。
半導體行業:晶圓厚度、光刻膠層測量等。
4.基恩士產品的優勢
技術成熟:基恩士在光譜共焦領域擁有多項專利,傳感器穩定性和重復性優異。
用戶友好:配備直觀的軟件界面,支持快速校準和數據可視化。
定制化解決方案:可根據客戶需求提供不同量程、精度和安裝方式的型號(如CL系列)。
全球服務網絡:基恩士提供快速技術支持與售后服務,確保設備高效運行。
5.技術參數示例(以CL-3000系列為例)
測量范圍:0.1 mm – 30 mm(依型號不同)
分辨率:0.01 μm
測量頻率:最高70 kHz
適用材質:金屬、玻璃、陶瓷、塑料等。
六、德國米銥
德國米銥公司(Micro-Epsilon)是一家專注于高精度傳感器技術的全球領先企業,成立于1968年,總部位于德國奧爾興(Ortenburg)。其光譜共焦傳感器(Chromatographic Confocal Sensor)以非接觸式、高精度和適應復雜表面的測量能力著稱,以下是confocalDT系列詳細介紹:
1.技術原理
光譜共焦傳感器基于共焦成像和光譜分析技術:
共焦原理:通過特殊透鏡將多波長光聚焦到被測表面,僅焦點處的反射光被檢測器接收,其他位置的光被過濾。
光譜分析:不同波長的光對應不同焦點位置,通過分析反射光的波長,精確計算物體表面位置或厚度。
2.核心優勢
超高精度:分辨率可達納米級(如0.01μm),適合微米級精密測量。
非接觸測量:避免傳統接觸式測頭對脆弱材料的損傷。
復雜表面適應:可測透明、鏡面、高反光、多層材料(如玻璃、薄膜、金屬)。
高速測量:部分型號采樣率可達數十kHz,適用于動態檢測。
抗干擾性強:對環境光、振動不敏感,適合工業現場。
3.典型應用領域
工業制造:半導體晶圓厚度測量、3C產品屏幕檢測、精密零部件尺寸控制。
醫療與科研:生物樣本厚度分析、光學元件表面形貌測量。
自動化:機器人引導定位、在線質量監控。
特殊場景:高溫、振動環境下的測量(如金屬加工、汽車制造)。
4.米銥光譜共焦產品線
米銥提供多種型號,例如:
confocalDT系列:緊湊型設計,適合集成到自動化系統。
高動態型:針對快速運動物體(如旋轉部件)優化。
定制化方案:支持特殊量程、多探頭同步等需求。
5.對比其他技術
特性 | 光譜共焦 | 激光三角測量 | 接觸式測頭 |
---|---|---|---|
精度 | 納米級 | 微米級 | 微米級 |
被測材料 | 透明/鏡面/多層 | 漫反射表面 | 硬質材料 |
測量速度 | 高速(kHz級) | 中高速 | 低速 |
接觸性 | 非接觸 | 非接觸 | 接觸 |
七、歐姆龍(進口品牌)歐姆龍品牌我就沒必要做過多介紹了吧。。。。
核心技術:白光共焦原理
原理:通過OCFL(歐姆龍色差焦點透鏡)將白光按波長聚焦于不同位置,僅接收工件表面反射的特定波長,通過分光器轉換為距離信息。
優勢:
同軸測量:投光與受光同軸,避免傳統激光三角測距法的位置偏移問題。
高適應性:支持粗糙表面、鏡面、斜面、曲面、透明物體及微小結構(如薄膜厚度低至15μm)的穩定測量。
抗干擾性:抑制多重反射光影響,提升測量穩定性。
產品系列與核心型號
系列 | ZW-8000(超高精度) | ZW-7000(超高速) | ZW-5000(標準型) |
---|---|---|---|
分辨率 | 2nm(靜態) | 4nm | 10nm |
測量周期 | 60μs | 20μs(業內領先) | 500μs |
角度特性 | ±25°(鏡面/斜面) | ±25° | ±25° |
適用場景 | 透明物體、微小結構 | 高速移動粗糙表面 | 常規在線檢測 |
傳感頭多樣化設計
類型:方型直線型、筆型直線型、筆型直角型,適應不同安裝空間。
關鍵參數:
光點直徑:最小φ4μm(ZW-S8010),精準測量微米級特征。
重量:輕至27g(筆型),適合狹小空間集成。
耐彎曲電纜:彎曲半徑R20mm,支持移動部件應用(如機械臂)。
核心應用場景
手機玻璃蓋板平整度檢測、芯片高度測量、按鍵段差分析。
汽車制造
電池平整度、電機鐵芯厚度、離合器摩擦材料形狀檢測。
半導體/FPD
晶圓高度、焊錫形狀、透明薄膜厚度測量。
工業自動化
涂膠高度監控、機器人軌跡同步、狹小空間內徑測量。
八、普雷茨特Precitec(進口品牌)普雷茨特(Precitec)成立于1971年,總部位于德國,是全球領先的高精度光學測量與激光加工技術解決方案供應商。品牌以創新為核心,專注于為工業制造提供非接觸式光學傳感器及智能化激光加工系統,覆蓋消費電子、半導體、汽車、醫療、玻璃制造等關鍵領域。(這個品牌就一個字 貴!,但是疑難雜癥只有他能解決)
1、普雷茨特的光譜共焦傳感器基于光學色散原理,通過白光光源分光形成不同波長的焦點沿光軸分布。傳感器接收物體反射的光信號后,利用光譜儀分析波長與位置的對應關系,實現納米級分辨率測量。相比傳統三角反射法,其優勢包括:
無死角:同軸光路設計,避免遮擋陰影。
小光斑:全量程保持極小光斑(最小1.7μm),適合微結構檢測。
高適應性:可測透明、反射、粗糙、多層材料,如玻璃、金屬、半導體等。
2、核心產品系列
1. CHRocodile C/C HS系列
特點:緊湊一體式設計(尺寸99×65×47mm),集成探頭與控制器,支持多點測厚(最多4個峰值)。
參數:
測量速度:最高10kHz。
分辨率:8nm(200μm探頭)。
探頭可選:200μm至10mm量程,適應不同精度需求。
應用:消費電子(手機間隙檢測)、半導體晶圓厚度測量。
2. CHRocodile CLS系列線傳感器
特點:高速3D輪廓掃描,最高6,000線/秒,每線192點。
參數:
量程:0.2mm至6mm(探頭可選)。
分辨率:Z軸20nm,橫向1μm(CLS 0.2探頭)。
應用:手機蓋板玻璃平整度、鏡頭曲面檢測。
3. CHRocodile MPS多點傳感器
MPS 2L:24點同步測量(12點/線),適合玻璃容器側壁厚度在線檢測。
MPS 96:96通道獨立測量,速度2,000點/秒,適用于復雜幾何形貌分析。
4.干涉法傳感器(CHRocodile 2 IT系列)
技術:結合紅外干涉,實現納米級膜層厚度測量。
應用:晶圓、多層塑料膜、液體涂層檢測。
優勢:支持水下或油污環境測量,抗振動干擾。
3、關鍵優勢
超高精度:Z軸分辨率達納米級(如CLS 0.2探頭20nm),線性精度±0.08μm。
高速測量:最高66kHz采樣率(CHRocodile 2 SE),滿足產線實時監控需求。
靈活適配:模塊化探頭設計,支持更換不同量程和NA值的探頭(如10mm探頭角度特性±14°)。
多材料兼容:透明/不透明、高反/漫反射表面均可穩定測量。
工業級可靠性:IP50防護,工作溫度0-50℃,無移動部件,免維護。
4、典型應用場景
消費電子:手機玻璃蓋板平整度、攝像頭模組段差檢測。
半導體:晶圓厚度、CMP工藝實時監控。
汽車:焊接凸點高度、儀表板安全氣囊涂層檢測。
玻璃制造:瓶身厚度均勻性、微小缺陷檢測。
醫療:植入物表面粗糙度、透明藥瓶壁厚測量。
5、選型參考
需求場景 | 推薦型號 | 核心參數 |
---|---|---|
微小結構高精度檢測 | CHRocodile C(200μm探頭) | 分辨率8nm,光斑3.4μm |
高速3D輪廓掃描 | CLS 2.0系列 | 36,000線/秒,1200點/線 |
多層膜厚度測量 | CHRocodile 2 IT DW 500 | 1nm分辨率,支持參雜晶圓 |
工業在線多點檢測 | MPS 96 | 96通道同步,2,000點/秒 |
九、STIL司帝(進口品牌,被Marposs收購了)Marposs成立于1952年,總部位于意大利博洛尼亞,是全球工業測量與檢測技術的領導者。自成立以來,Marposs始終專注于為制造業提供創新的質量控制解決方案,覆蓋從機床測頭到自動化檢測系統的全鏈條技術。
核心特點:
高精度傳感器:采用納米級靈敏度傳感器,可檢測微米級誤差,滿足航空航天、醫療器械等高精度制造需求。
環境適應性:具備抗高溫、抗油污和抗電磁干擾能力,適用于復雜工業環境。
無線傳輸技術:支持無線數據傳輸,無縫對接數控系統,減少布線干擾。
多系統兼容性:適配主流數控系統(如西門子、發那科、海德漢等),快速集成至生產線。
效率提升:通過自動化檢測減少人工干預,降低廢品率,提升生產效率20%以上。
典型應用場景:
航空航天:渦輪葉片、發動機部件的精密加工。
汽車制造:變速箱、曲軸等關鍵零部件的高效檢測。
醫療器械:人工關節、手術器械的微米級精度控制。
十、LMI Technologies(線狀光譜共焦傳感器,進口品牌)
LMI Technologies(全稱:Laser Measurement International)是一家專注于工業3D掃描與檢測技術的全球領先企業,總部位于加拿大溫哥華。公司致力于為智能制造、自動化質量控制等領域提供高性能的3D視覺解決方案,其產品廣泛應用于汽車制造、消費電子、食品包裝、半導體、新能源電池等行業。
核心優勢與技術特點:
智能傳感器技術:LMI主打FactorySmart?技術平臺,將傳感器硬件與智能軟件結合,實現實時3D數據采集、分析和決策。
非接觸式高精度檢測:產品支持微米級精度測量,適用于復雜表面、透明/反光材質等傳統傳感器難以處理的場景。
工業4.0集成:支持與機器人、PLC系統無縫對接,助力自動化產線升級。
多行業覆蓋:在汽車零部件檢測、電池極片測量、食品包裝密封性驗證等領域擁有成熟案例。
Gocator 5500系列智能線光譜共焦傳感器
(基于鏈接內容及技術背景補充)
技術原理
線光譜共焦傳感器(Line Confocal Sensor)采用線掃描共焦成像技術,結合光譜分析實現高精度3D測量。其核心特點是通過特殊光學系統將白光分解為不同波長的光譜,僅聚焦于特定波長的反射光,從而精確計算物體表面的高度信息。
Gocator 5500系列亮點
超高性能
分辨率:亞微米級(<1μm)的縱向(Z軸)精度,橫向(XY)分辨率達微米級。
高速掃描:支持每秒數千次測量,適用于高速產線檢測。
大視野覆蓋:單次掃描寬度可達數十毫米,減少運動機構需求。
復雜材質適應性
可測量高反光(如金屬)、透明(如玻璃)、多層結構(如薄膜)等傳統激光或結構光難以處理的材質。
智能集成設計
內置算法:集成3D點云處理、幾何參數計算、缺陷檢測等功能,無需額外工控機。
易用性:提供可視化編程界面(如Gocator Web界面),支持快速部署。
工業級可靠性
IP67防護等級,適應惡劣工業環境。
支持多傳感器同步,滿足大尺寸物體檢測需求。
典型應用場景
半導體:晶圓表面缺陷檢測、焊線高度測量。
消費電子:屏幕玻璃厚度、攝像頭模組平整度檢測。
新能源電池:電極涂層均勻性、極片對齊度驗證。
精密加工:微型零件尺寸、螺紋/齒輪輪廓測量。
審核編輯 黃宇
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