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如何操作才能使樣品在掃描電鏡中清晰成像?

中圖儀器 ? 2024-12-25 14:27 ? 次閱讀

要使樣品在掃描電鏡中清晰成像,需要注意以下操作要點:

1、樣品制備

-清潔處理:確保樣品表面沒有灰塵、油污和其他雜質。比如對于金屬樣品,可以使用有機溶劑(如乙醇、丙酮)進行清洗,然后用干燥的氮氣吹干。

-尺寸要求:樣品大小要適合電鏡樣品臺,一般不能太大,避免在掃描過程中與電鏡內部結構發生碰撞干擾成像。

-固定樣品:將樣品穩固地固定在樣品臺上。如果樣品是粉末狀,可以用導電膠或者雙面膠固定;塊狀樣品可以使用專用的夾具固定,防止在掃描過程中移動而使圖像模糊。

2、電鏡參數調節

-調整工作距離:工作距離是指樣品表面到物鏡極靴的距離。合適的工作距離可以改善成像質量,通常在幾毫米左右。距離過近,可能會使樣品碰撞物鏡;距離過遠,信號收集效率降低,成像分辨率和對比度變差。可以通過手動或者自動聚焦功能來調整工作距離,同時觀察圖像清晰度的變化。

-調節加速電壓:加速電壓決定了電子束的能量。電壓越高,電子束穿透能力越強,但可能會對樣品造成損傷,并且會影響成像的分辨率和對比度。一般根據樣品的性質和需要觀察的細節來選擇合適的加速電壓。例如,對于表面形貌觀察,較低的加速電壓(如5 - 10kV)可能更合適;對于觀察樣品內部結構,可能需要較高的加速電壓(如20 - 30kV)。

-聚焦操作:通過調節聚焦旋鈕,使電子束聚焦在樣品表面,從而獲得清晰的圖像。可以在低倍放大下先進行粗調,然后在高倍放大下進行細調。現代掃描電鏡通常有自動聚焦功能,但有些情況下還是需要手動微調來達到最佳效果。

-調整亮度和對比度:合理設置亮度和對比度可以使圖像細節更加清晰。亮度主要影響圖像的整體明暗程度,對比度則是調整圖像中亮部和暗部的差異。可以根據樣品的特點和成像目的進行調節,比如觀察顏色較淺的樣品時,可以適當增加對比度。

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