傳感新品

【中國科學院微電子研究所：納米森林柔性濕度傳感器及其創新應用研究方面取得新進展】

近日，微電子所健康電子中心黃成軍研究員和毛海央研究員團隊在納米森林柔性濕度傳感器方向取得新進展。

現有濕度傳感器在低濕條件下存在靈敏度低的問題，難以滿足高精度檢測要求。團隊開發了一種基于碳量子點@納米森林復合結構的新型濕敏材料，利用納米森林的高孔隙率和超親水特點，及其與柔性基底可兼容制備和晶圓級制備特點，成功研發出一種新型的高性能柔性濕度傳感器和傳感器陣列。同基于PI濕敏材料或基于納米森林濕敏材料的柔性濕度傳感器相比，該新型傳感器顯著提升了濕度檢測靈敏度，尤其在低濕條件下，其靈敏度提高了4.3倍。

團隊還探索了該新型柔性濕度傳感器和傳感器陣列在高精度環境濕度監測、皮膚濕度檢測、指尖接近探測、植物葉片蒸騰作用檢測等多種場景下的應用，展現了其廣闊的應用潛力，為智能可穿戴設備和環境監測等技術領域的發展提供了一種新的技術方案。

圖1：高性能柔性濕度傳感器在不同場景中的應用演示

傳感動態

【增城區重點打造廣州增城智能傳感器產業園】

近年來，增城的“芯顯車”三大先進制造業進入快速發展車道，其中“顯”“車”產業擁有維信諾、廣本、北汽等龍頭產業項目；“芯”產業方面，目前越海集成的國內先進的8寸/12寸硅通孔晶圓級先進封裝線項目已投產、增芯科技的國內首條采用12英寸制程技術平臺的MEMS專業代工規模化產線項目正在加緊建設中。增城的智能傳感器全產業鏈雛形已初步形成，芯片制造端、封裝測試端、終端應用端等各個環節均有涉及。當前，增城聚焦汽車電子、智慧倉儲物流、醫療電子等領域，推動智能傳感器產業快速發展。

今年，增城聚焦智能傳感器核心技術攻關，推動智能傳感器產業鏈上下游協同發展，提升智能傳感器產業鏈整體競爭力，重點打造廣州增城智能傳感器產業園，推動先進制造業高質量發展，為推動廣州建設國家集成電路產業發展“第三極”核心承載區、培育壯大現代產業體系提供堅實支撐。目前，廣州增城智能傳感器產業園已通過評審并完成公示，成為廣東省2023年度特色產業園。

形成“一核一圈四組團”空間布局 力推產業發展

廣州增城智能傳感器產業園包括增城經濟技術開發區核心區組團、電子材料組團、科教城組團、公鐵聯運組團4個組團，以制造為核心形成“一核一圈四組團”的空間布局，全力打造成為涵蓋設計、芯片制造、封裝測試、產品終端到應用的智能傳感器全產業鏈園區。

“一核”即智能傳感器制造核。以增城經濟技術開發區核心區為中心，以龍頭企業帶動建設智能傳感器園區，大力發展先進半導體制造業產業，打造粵港澳大灣區內技術先進、特色鮮明、競爭力強、產業鏈完善的傳感器芯片制造為引領的產業集聚區。“一圈”即由點向外輻射發展，逐步擴大產業規模，以智能傳感器生產制造為核心，以應用為牽引，向外輻射帶動增城全域的智能傳感器終端應用圈，包含輻射的汽車零部件企業、航天電器企業、智能家居企業、智慧交通與車聯網企業等。“四組團”則承載產業鏈不同功能，共同協作，共同構建智能傳感器產業生態體系，實現“設計－中試－量產－封測－終端產品”的橫向產業鏈條和“科研、材料、設備等供應配套”的縱向產業鏈條的集聚。

廣州增城智能傳感器產業園將積極融入國家戰略布局，力爭到2030年，園區產業協同發展能力日益增強，成為國內一流、具有國際競爭力的產業集群，基本形成結構合理、生態完善的智能傳感器產業體系。到2035年，園區智能傳感器產業生態集聚效應明顯。

完善基礎設施建設優化“硬”環境 保障產業發展

增城域內基礎設施交通便利，高速公路、高鐵等快速交通覆蓋豐富，區域布局新塘站、增城站、增城西站等3大交通樞紐，區域內或周邊坐擁雙航空機場（廣州白云機場、深圳寶安機場）、多海運港口（新塘港、黃埔港、南沙港、新沙港）、3條輕軌（穗莞深城際、新白廣城際-建設中、佛穗莞城際-近期建設）、3條國鐵（廣汕鐵路、廣深鐵路、廣石鐵路）、2條地鐵（13號線、21號線）。從穗莞深城際新塘站至深圳寶安機場站僅需50分鐘，從新白廣城際新塘站至廣州白云機場站僅需50分鐘，從新塘站至廣州東站僅需20分鐘。增城空間銜接性和交通通達性均十分良好，具備成為廣深港澳科技創新走廊節點的空間區位條件。

在生活配套方面，廣州增城智能傳感器產業園將根據現狀人口和發展制約因素，合理布局配套居住用地，促進產城融合發展。同時，根據發展情況，園區還將配備教育、醫療、養老、文化、體育、商業設施，適當加強員工宿舍、人才公寓等保障性住房、租賃性住房建設。

推動扶持政策落實優化“軟”環境 賦能產業發展

惠企扶持政策有效激活企業發展內生動力。增城積極制定出臺和推動各項扶持政策落實，加快集成電路及智能傳感器產業發展。在生產制造方面，支持龍頭企業與終端應用企業、高校和科研院所等成立智能傳感器產業聯盟，目前正積極籌備推進相關項目。在產業技術支撐方面，將通過研發科技項目投入、首次流片補貼等多種方式，對園區內智能傳感器產業和企業的技術發展提供支持服務。在企業金融支持方面，將通過增城產業發展相關基金入股園區企業、提供貼息獎勵、投資獎勵等方式，為園區內智能傳感器企業提供相關金融服務支持。

為加快打造以智能傳感器為核心的半導體產業集群，廣州市印發了《廣州市關于聚焦特色工藝半導體產業高質量發展的若干措施》，在重點制造項目建設、優質設計企業引育、供需兩端協同聯動、集成電路人才獎勵等方面進行大力支持；增城出臺了《增城區促進集成電路產業發展扶持辦法》，下一步擬出臺《廣州市增城區、增城經濟技術開發區促進集成電路及智能傳感器產業發展扶持辦法（修訂）》，圍繞智能傳感器產業鏈集聚、創新發展、要素保障三大發展路徑，從項目引進、項目落地、項目經營、公共平臺建設、人才培育、用地保障、用電保障等方面給予重點支持。

此外，針對目前發展現狀和未來發展目標，廣州增城智能傳感器產業園將從項目建設與運營、公共服務保障與人才保障、環境承載與保護等方面規劃制定相關惠企政策。

【吉利汽車與英飛凌成立創新應用中心，深化智能汽車等領域的長期合作】

4月8日消息，近日，吉利汽車集團與全球汽車半導體領導廠商英飛凌科技（中國）有限公司成立創新應用中心，雙方將深化在智能汽車等領域的長期合作，共同聚焦客戶需求，加速新產品新方案落地。創新應用中心設立在寧波杭州灣吉利汽車研究院，以增進團隊合作交流，精準地把握智能化汽車的發展方向。

吉利Tech消息顯示，吉利與英飛凌已在電力動力總成和ADAS整體系統解決方案等領域建立了持續而穩固的合作，共同積累了豐富的經驗。創新應用中心的成立，進一步加強了雙方之間的合作伙伴關系，推動更多解決方案的落地，快速向市場推出新產品。新的創新應用中心將在多個應用領域展開延伸合作，如電力動力總成、座艙、功能域/區域控制、底盤和ADAS等，在產品性能方面為雙方帶來價值提升。

據悉，今年2月，浙江省科學技術廳公布的“2023年全省重點實驗室”認定結果顯示，吉利汽車研究院牽頭建設的智能汽車全域安全實驗室獲得全省重點實驗室認定。吉利全新組建的“智能汽車全域安全實驗室”首輪投資預計20億元，位于前灣新區吉利汽車技術服務項目一期，建成后將成為業內驗證能力領先的綜合型安全實驗室，有力支持智能汽車全域安全研發及測試需求。

此外，4月8日另一則消息顯示，英飛凌宣布與半導體封裝和測試服務提供商Amkor Technology深化合作伙伴關系，加強在歐洲的外包后端制造業務版圖。兩家公司已同意在Amkor位于葡萄牙波爾圖的制造基地運營一個專業的封裝和測試中心，運營時間預計為2025年上半年。

【賽微電子與北京市懷柔區簽署戰略合作，擬建設6/8英寸MEMS晶圓中試生產線和研發平臺】

賽微電子4月10日公告，公司與北京市懷柔區人民政府簽署了《戰略合作協議》，擬在科學城產業轉化示范區建設高水平的6/8英寸MEMS晶圓中試生產線和研發平臺，為MEMS傳感器的設計、制造、測試等環節提供研發支撐能力，帶動MEMS傳感器產業在懷柔區集聚發展。

據傳感器專家網了解，于2015年5月14日在深圳證券交易所創業板掛牌上市。以傳感技術為核心，緊密圍繞物聯網、特種電子兩大產業鏈，一方面大力發展MEMS、導航、航空電子三大核心業務，一方面積極布局無人系統、第三代半導體材料和器件等潛力業務，致力于成為具備高競爭門檻的一流民營科技企業集團。

公司目前的主要產品及業務包括MEMS芯片的工藝開發及晶圓制造、GaN外延材料生長與器件設計,下游應用領域包括通信、生物醫療、工業科學、消費電子等。公司業務遍及全球，客戶包括特種電子用戶以及全球DNA/RNA測序儀巨頭、新型超聲設備巨頭、網絡通信和應用巨頭以及工業和消費細分行業的領先企業。

【中韓科研人員在新型半導體材料和器件領域取得重大突破】

中新社成都4月11日電(記者 賀劭清)記者11日從電子科技大學獲悉，中韓科研人員首創高遷移率穩定的非晶P型(空穴)半導體器件，突破該領域二十余年的研究瓶頸。這一在新型半導體材料和器件領域取得的重大突破，將進一步推動現代信息電子學和大規模互補金屬氧化物半導體(CMOS)技術的發展。

這一研究成果以《Selenium alloyed tellurium oxide for amorphous p-channel transistors》為題，于北京時間10日23時在權威期刊《Nature》以加速預覽形式(Accelerated Article Preview)在線發表。該成果由中國電子科技大學和韓國浦項科技大學共同合作完成。論文第一單位為電子科技大學基礎與前沿研究院，電子科技大學基礎與前沿研究院教授劉奧為論文第一作者和通訊作者。

相比于多晶半導體，非晶體系具有諸多優勢，如低成本、易加工、高穩定性以及大面積制造均勻等。然而，傳統的非晶氫化硅因電學性能不足而急需探索新材料。

目前非晶P型半導體面臨著重大挑戰，嚴重阻礙了新型電子器件研發和大規模N-P互補金屬氧化物半導體技術的發展。傳統氧化物半導體因高局域態價帶頂和自補償效應，導致空穴傳輸效率極差，難以滿足應用需求。

科研人員因此投入大量精力開發新型非氧化物P型半導體，但目前這些新材料只能在多晶態下展現一定的P型特性。此外，這些材料還存在穩定性和均勻性等固有缺陷，且難以與現有工業制程工藝兼容。

在過去二十余年里，全球科研人員不斷改進和優化“價帶軌道雜化理論”，嘗試實現高空穴遷移率的P型氧化物基半導體，但收效甚微。這也導致專家普遍認為，實現高性能的非晶P型半導體和CMOS器件是一項“幾乎不可能完成的挑戰”。

鑒于此，中韓科研團隊提出了一種新穎的碲(Te)基復合非晶P型半導體設計理念，并采用工業制程兼容的熱蒸鍍工藝實現了薄膜的低溫制備，證明了在高性能、穩定的P溝道TFT器件和CMOS互補電路中的應用可行性。這項研究將開啟P型半導體器件的研究熱潮，并在建立商業上可行的非晶P溝道TFT技術和低功耗CMOS集成器件邁出了重要的一步。

【稱重傳感器的選型及注意事項】

稱重傳感器的選型及注意事項

稱重傳感器實際上是一種將質量信號轉變為可測量的電信號輸出的裝置。用傳感器應先要考慮傳感器所處的實際工作環境，這點對正確選用稱重傳感器至關重要，它關系到傳感器能否正常工作以及它的安全和使用壽命，乃至整個衡器的可靠性和安全性。主要有S型、單點式、懸臂型、輪輻式、板環式、膜盒式、橋式、柱筒式等多種樣式。當然很多客戶會問,稱重傳感器怎么選型，在進行產品選型時要注意哪些問題，下面跟著我們一起來了解下。

選擇稱重傳感器的要素主要包括四個方面，分別是傳感器的精度、靈敏度、穩定性和使用數量和量程。

傳感器的選型要求

一、傳感器的精度

好的稱重傳感器對于精度的要求很高，精度越高，價格越高。一般選擇傳感器只要達到符合稱重系統的儀表輸出要求略高即可，不需要選的太高，符合自己的才是最好的。

二、傳感器的靈敏度

選擇傳感器靈敏度越高的越好，靈敏度高了，測量時才會獲得更加準確的數據

三、傳感器的穩定性

穩定性是稱重傳感器使用很久后還能保持正常工作，穩定性越高的傳感器的使用壽命則越長。眾所周知影響傳感器的穩定性因素有:稱重傳感器的質量、工作環境等，一款好的稱重傳感器環境對其影響較小。

在選購稱重傳感器時，需要注意看一下其適用的環境，根據環境選擇對應稱重傳感器，選擇正確的稱重傳感器能減少環境對稱重傳感器的影響，而且有利于稱重傳感器的使用壽命。比如說在易燃易爆的環境中，就需要選用帶有防爆功能的稱重傳感器。

四、傳感器的數量和量程

在不同的稱重項目中，傳感器具體的數量和量程的選擇應根據實際測量的物體的重量和類型來決定。一般實際稱量物體的重量應在70%以下，這樣對稱重傳感器的損耗會更小，有利于延長傳感器的使用壽命。

稱重傳感器選型時的注意事項

1、稱重傳感器的安裝要求，具體選型可聯系我司技術配合一起選型做選型方案。

2、購買時要注意稱重傳感器的使用環境條件，比如那些需要密封、那些需要防爆款等。

3、稱重傳感器的精度等級，精度等級一般由彈性體結構決定，看下處理過程中是否有線性補償。

4、注意稱重傳感器的量程范圍，估算下機器或者臺面的最大承重，一般選擇的量程是被測體最大重量的2到2.5倍，因為這樣可以有效延長傳感器壽命，并可以獲得更加準確的測量數據。

5、注意稱重傳感器在使用過程中所受溫度影響的特性和蠕變特性

審核編輯 黃宇