SK海力士聯(lián)手TEMC開發(fā)氖氣回收技術(shù)，年度節(jié)省400億韓元
據(jù)報道，SK 海力士日前公布與韓國特種氣體供應(yīng)商 TEMC 聯(lián)手研發(fā)的全球首創(chuàng)氖氣回收技術(shù)，每年能節(jié)約高達 400 億韓元的成本。
該項目得益于地緣政治局勢引發(fā)的氖氣需求劇增以及價格上漲，韓國半導(dǎo)體巨頭三星電子亦有意開啟氖氣回收計劃。
氖氣作為準分子激光氣體的重要組成部分，用于高精密的半導(dǎo)體光刻工藝環(huán)節(jié)。其穩(wěn)定性使得分離提純成為可能，從而實現(xiàn)廢氣回收再利用。
SK 海力士聯(lián)合 TEMC 研發(fā)出一套氖氣回收裝置，用以收集及分類處理光刻工藝環(huán)境中的氖氣，然后交予 TEMC 進行純化處理，最后回流至 SK 海力士使用。
據(jù)悉，現(xiàn)階段回收裝置的氖氣回收率達 72.7%，且 SK 海力士預(yù)計后續(xù)將進一步提升至 77%。
據(jù) SK 海力士測算，新回收技術(shù)每年有望節(jié)省 400 億韓元的氖氣采購費用，同時減少 12000 噸二氧化碳當量的溫室氣體排放。
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