深圳市華芯邦科技有限公司 （李振寧，李昊）

近年來，隨著晶圓級(jí)封裝技術(shù)的不斷提升，眾多芯片設(shè)計(jì)及封測公司開始思考并嘗試采用晶圓級(jí)封裝技術(shù)替代傳統(tǒng)封裝。其中HRP（HeatRe-distributionPackaging）晶圓級(jí)先進(jìn)封裝工藝技術(shù)的研究，由深圳市華芯邦科技有限公司（Hotchip）提出，可解決元器件散熱、可靠性、成本、器件尺寸等問題，是替代傳統(tǒng)封裝技術(shù)解決方案之一。本文總結(jié)了HRP工藝的封裝特點(diǎn)和優(yōu)勢，詳細(xì)介紹其工藝實(shí)現(xiàn)路線，為傳統(tǒng)封裝技術(shù)替代提供解決方案。

1 傳統(tǒng)封裝技術(shù)及其弊端介紹

集成電路封裝是半導(dǎo)體器件制作的最后一步。傳統(tǒng)的芯片封裝是指將制作好的晶粒嵌入具有保護(hù)作用的塑料、金屬或陶瓷殼體中，并與外界電路及其他元器件連接的過程。此過程需要借助銀漿或其他膠水將晶粒粘接固定在引線框架上，通過引線鍵合實(shí)現(xiàn)芯片輸入輸出端口與引線框架引腳實(shí)現(xiàn)電氣互聯(lián)，再進(jìn)行模壓塑封、陶瓷燒結(jié)或采用金屬殼體將晶粒包覆起來，最后進(jìn)行切割、測試完成芯片封裝（如圖1）。

圖1 傳統(tǒng)封裝工藝流程

此傳統(tǒng)封裝技術(shù)使得元器件存在以下弊端：

（1）散熱問題。芯片散熱主要途徑有：

a. 芯片內(nèi)部熱量通過硅襯底、導(dǎo)電銀漿、引線框架、芯片管腳、焊接錫膏、電路基板進(jìn)行散熱，散熱路徑 長，熱阻高，散熱效果一般。

b.芯片內(nèi)部產(chǎn)生的熱量通過電氣互聯(lián)線導(dǎo)熱至引線 框架上，再通過引線框架引腳及焊接錫膏導(dǎo)熱到電路基板上進(jìn)行散熱。通常電氣互聯(lián)線為銅線，線徑為0.8~1.2mil，線徑小、路徑長，導(dǎo)熱能力有限。散熱效果一般。

c.芯片產(chǎn)生的熱量散發(fā)到外殼包封的塑膠、陶瓷或金屬包封殼體散熱。塑膠包封殼體導(dǎo)熱系數(shù)低，散熱能力差。而陶瓷或金屬殼體導(dǎo)熱系數(shù)較好，但是同時(shí)也帶來高昂的成本。

圖2 傳統(tǒng)心態(tài)封裝結(jié)果

（2）可靠性問題。

圖3 引線鍵合線徑受損

（如圖2）為傳統(tǒng)芯片封裝結(jié)構(gòu)，每顆芯片由幾根、幾十根甚至上百根鍵合線實(shí)現(xiàn)晶粒與引線框架引腳的電氣互聯(lián)。引線鍵合工藝因焊線瓷嘴磨損、焊線參數(shù)匹配性等因素容易導(dǎo)致鍵合線焊球頸部受損（如圖3所示）。

而塑封材料、晶粒、鍵合線、引線框架由于不同材料熱膨脹系數(shù)不一樣，在應(yīng)用端SMT高溫過爐或產(chǎn)品使用過程中發(fā)熱，熱應(yīng)力導(dǎo)致鍵合線受損部位斷開，導(dǎo)致器件失效。塑封器件因塑封材料容易吸潮，不同封裝材料結(jié)合面存在縫隙也容易導(dǎo)致水汽進(jìn)入，在SMT工藝及產(chǎn)品使用過程中，熱應(yīng)力和濕應(yīng)力的雙重作用下將加速器件失效。

(3)成本問題。

芯片封裝經(jīng)過晶粒固定、引線鍵合、AOI檢查、模壓、電鍍、切割、測試工序，工藝流程長，生產(chǎn)效率慢，需要投入高額的設(shè)備成本、人工成本及材料成本，使得產(chǎn)品成本居高不下。

(4)器件尺寸大，阻礙產(chǎn)品微型化問題。芯片封裝需要預(yù)留足夠的引線鍵合空間，完成引線鍵合后，還需要進(jìn)行塑封，使得器件尺寸遠(yuǎn)大于晶粒尺寸，對于器件或產(chǎn)品尺寸微型化造成了阻礙。 基于以上傳統(tǒng)封裝存在的弊端，我們進(jìn)行了深入的技術(shù)研究，采用HRP晶圓級(jí)先進(jìn)封裝技術(shù)替代傳統(tǒng)封裝技術(shù)，有效解決產(chǎn)品散熱、可靠性、成本、產(chǎn)品尺寸微型化等問題。

2 HRP工藝介紹

HRP旨在依據(jù)芯片電流大小、發(fā)熱量、輸入輸出端口電路連接設(shè)計(jì)等，對芯片做線路層重構(gòu)設(shè)計(jì)，并制作焊接凸點(diǎn)。主要設(shè)計(jì)內(nèi)容為，依據(jù)電流大小、發(fā)熱量及散熱要求，設(shè)計(jì)符合要求的線寬、線距、線厚，確保芯片電學(xué)、熱學(xué)特性達(dá)到設(shè)計(jì)需求。依據(jù)輸入輸出端口電路連接進(jìn)行重新設(shè)計(jì)，簡化線路及焊接凸點(diǎn)制作。

圖4 HRP工藝流程圖

2.1 HRP工藝技術(shù)路線 HRP的工藝路線為使用物理氣相沉積（PVD）制作UBM層，接著通過光刻、電鍍和蝕刻工藝完重構(gòu)電路布線。 HRP具體的工藝過程如圖4所示。首先在Wafer上沉積一層金屬薄膜（UBM），沉積方法可用物理氣相沉積（PVD）或者化學(xué)氣相沉積（CVD），沉積金屬可選擇Ti、Au、Cu等的一種或兩種。隨后在其上涂敷光刻膠，將設(shè)計(jì)好的圖案或路線通過光刻技術(shù)“刻畫”在光刻膠上，然后通過電鍍或化學(xué)鍍的方法把圖案或線路進(jìn)行金屬化，最后在其上涂敷一層PI絕緣層，作為金屬層間絕緣阻隔，在所需制作焊接凸點(diǎn)區(qū)域開窗預(yù)留凸點(diǎn)制作位置。完成PI層制作后，接著通過UBM層制作、光刻、電鍍、蝕刻完成焊接凸點(diǎn)制作，也可以通過焊料印刷的方式制作焊接凸點(diǎn)。依據(jù)所需要制作的電路層數(shù)，不斷重復(fù)以上步驟就可以獲得所需的多層HRP。

HRP工藝是在晶圓上進(jìn)行設(shè)計(jì)制作，隨著所需的HRP完成，芯片的焊接區(qū)域也已按照設(shè)計(jì)所需生成，將晶圓進(jìn)行劃片后即可得到一顆顆的芯。以往的傳統(tǒng)封裝工藝技術(shù)，在完成晶圓劃片后，還要進(jìn)行后到器件級(jí)封裝，即晶粒固定、引線鍵合、模壓塑封、電鍍、切割、測試等工序，才能貼裝到PCB板上組裝使用。而HRP則無需再進(jìn)行后道的封裝，而是將芯片以倒裝（Flip Chip）的方式焊接組裝在PCB板上，極大地縮短了互聯(lián)長度，減小了RC延遲，有效的提升了器件的電性能。

2.2 HRP工藝特點(diǎn)

基于HRP晶圓級(jí)先進(jìn)封裝技術(shù)對芯片進(jìn)行了電學(xué)、熱學(xué)的電路設(shè)計(jì)重構(gòu)，并直接倒裝焊接在PCB板上，其具有如下特點(diǎn)：

圖5 HRP封裝結(jié)構(gòu)

（1）散熱能力好。如圖5所示，電路重構(gòu)設(shè)計(jì)在芯片表面設(shè)計(jì)了大面積金屬布局，并在特定位置設(shè)計(jì)較大尺寸的焊接凸點(diǎn)，最終直接倒裝焊接在PCB上，其散熱路徑為直接通過重構(gòu)電路、焊接凸點(diǎn)、焊接錫膏即可將熱量傳導(dǎo)到PCB上，且均為大面積的金屬導(dǎo)熱，導(dǎo)熱系數(shù)高，散熱路徑短，從而帶來了較好的散熱性能。經(jīng)測試對比，相同芯片，采用HRP晶圓級(jí)封裝技術(shù)替代傳統(tǒng)的封裝技術(shù)，使用過程中，達(dá)到熱穩(wěn)態(tài)后，其溫度比傳統(tǒng)封裝產(chǎn)品低40%以上。

（2）可靠性高。參考圖5所示的電路重構(gòu)設(shè)計(jì)及焊接凸點(diǎn)設(shè)計(jì)，均為大面積金屬致密結(jié)合，并通過倒裝的方式焊接在PCB板上，封裝結(jié)構(gòu)簡單，抗機(jī)械強(qiáng)度高，沒有傳統(tǒng)封裝的引線鍵合損傷的失效風(fēng)險(xiǎn)，也沒有塑封材料吸潮、熱膨脹系數(shù)差異大導(dǎo)致的應(yīng)力影響，具有優(yōu)秀的可靠性表現(xiàn)。

如右側(cè)表1為相同芯片兩種不同封裝形式的可靠性對比。

（3）成本低。HRP晶圓級(jí)封裝技術(shù)是在晶圓上進(jìn)行，單片晶圓顆粒數(shù)為幾千甚至幾萬顆，UBM生長、光刻、電鍍、蝕刻均是正片wafer上所有晶粒同時(shí)進(jìn)行，生產(chǎn)效率極高，良率高達(dá)99.9%以上，單位生產(chǎn)成本低。同時(shí)HRP線路重構(gòu)可采用鈀、銅等金屬制作，使用的材料較少，材料費(fèi)用低。晶圓完成劃片后即可貼裝到PCB板上進(jìn)行組裝使用，不再進(jìn)行后道器件級(jí)封裝，省去全部的后道工藝制作。經(jīng)測算，采用HRP晶圓級(jí)封裝技術(shù)綜合成本比傳統(tǒng)封裝技術(shù)低30%以上。

（4）產(chǎn)品尺寸微型化。HRP晶圓級(jí)封裝技術(shù)在晶粒上進(jìn)行電路重構(gòu)及焊接凸點(diǎn)制作，相比傳統(tǒng)封裝尺寸因引線鍵合及塑封額外增加了大量的尺寸空間，采用HRP晶圓級(jí)封裝技術(shù)完成封裝后的芯片，其尺寸與裸晶粒完全相同，不會(huì)額外增加尺寸，對于追求產(chǎn)品尺寸微型化的應(yīng)用是最優(yōu)的解決方案。

3 HRP工藝進(jìn)展

華芯邦科技HotChip的研發(fā)團(tuán)隊(duì)對HRP晶圓級(jí)先進(jìn)封裝技術(shù)做了深入研究及大量的探索驗(yàn)證，目前HRP工藝技術(shù)已成功批量應(yīng)用與微機(jī)電芯片，未來，我們還將繼續(xù)拓展應(yīng)用于電源IC、LDO、存儲(chǔ)器等領(lǐng)域。 目前，大多數(shù)芯片采用的封裝方式因散熱能力不足而或多或少的存在一些可靠性方面的問題。在持續(xù)的進(jìn)行高功率輸出時(shí)，芯片容易過熱進(jìn)而觸發(fā)保護(hù)機(jī)制，導(dǎo)致性能中斷，嚴(yán)重影響用戶體驗(yàn)。為了解決這些問題，HotChip HRP封裝技術(shù)進(jìn)行了深入研究，并從底層傳熱學(xué)邏輯出發(fā)，全面分析了元器件在工作狀態(tài)下的界面熱阻。研發(fā)團(tuán)隊(duì)運(yùn)用有限元仿真技術(shù)，構(gòu)建了元器件的傳熱模型，以便改善散熱問題。通過對傳熱模型的研究，HotChip改善了現(xiàn)有的封裝方式，提高了芯片的散熱性能，保證了可靠性，從而有效地提升了用戶的使用體驗(yàn)。

4 結(jié)束語

如今，隨著芯片成本日漸上漲以及封裝難度的增加，HRP工藝路線將會(huì)逐漸在先進(jìn)封裝領(lǐng)域中大放光彩，主要的優(yōu)勢為：

1）可以直接貼合在柔性線路板上，實(shí)現(xiàn)柔性封裝；

2）可以實(shí)現(xiàn)超高密度的多層布線；

3）具有更高的良率、更低的成本及更好的可靠性。因此，雖然HRP應(yīng)用不久，但研發(fā)者們在工藝優(yōu)化、材料選擇、設(shè)備改進(jìn)等方面已經(jīng)進(jìn)行了大量的實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證并取得了一系列成果，未來將成為系統(tǒng)級(jí)集成的重要解決方案。

5 參考文獻(xiàn)

（1）一文講透QFN封裝- 半導(dǎo)體行業(yè)觀察

（2）晶圓級(jí)封裝技術(shù)的發(fā)展-戴錦文

（3）扇出型晶圓級(jí)封裝可靠性問題與思考-范懿鋒1董禮2張延偉1王智彬1孟猛1

（4）先進(jìn)的扇出晶圓級(jí)封裝進(jìn)展-Yonggang JinJerome TeysseyreAnandan RamasamyYun LiuBing Hong Huang

（5）電子元器件封裝技術(shù)發(fā)展趨勢-黃慶紅

審核編輯 黃宇