霍爾效應(yīng)測(cè)試系統(tǒng)用于測(cè)量半導(dǎo)體材料的載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數(shù)等重要參數(shù)，而這些參數(shù)是了解半導(dǎo)體材料電學(xué)特性必須預(yù)先掌控的，因此霍爾效應(yīng)測(cè)試系統(tǒng)是理解和研究半導(dǎo)體器件和半導(dǎo)體材料電學(xué)特性必*的工具。 實(shí)驗(yàn)結(jié)果由軟件自動(dòng)計(jì)算得到，可同時(shí)得到體載流子濃度(Bulk Carrier Concentration)、表面載流子濃度(Sheet Carrier Concentration)、遷移率(Mobility)、電阻率(Resistivity)、霍爾系數(shù)(Hall Coefficient)、磁致電阻(Magnetoresistance)等。

低溫型霍爾效應(yīng)測(cè)試系統(tǒng)由電磁鐵、真空泵、低溫真空腔、高斯計(jì)、恒流源、電磁鐵電流源、控溫儀和計(jì)算機(jī)及軟件組成。其中，電磁鐵電流源給電磁鐵提供電流，產(chǎn)生磁場(chǎng)；高斯計(jì)測(cè)量線圈產(chǎn)生的均勻磁場(chǎng)值；恒流源一方面給樣品提供電流，用于霍爾效應(yīng)測(cè)試，一方面可以測(cè)量樣品電壓；被測(cè)樣品置于低溫真空腔中，由低溫膠固定，并作為四個(gè)測(cè)試點(diǎn)；低溫真空腔引出4根導(dǎo)線，兩個(gè)連接控溫儀進(jìn)行溫度的測(cè)量及控制，另1根是低溫探頭引線連接到高斯計(jì)上，還有1根是霍爾樣片連接線接到恒流源上；計(jì)算機(jī)連接高斯計(jì)、控溫儀、恒流源和電磁鐵電流源，通過軟件實(shí)現(xiàn)控制通過被測(cè)樣品的電流和磁場(chǎng)值，并獲取測(cè)得的電壓值。

審核編輯 黃宇