中國電子工程設計院有限公司（中國電子院）為對象，最近傳出的“清華大學euv項目asml巨大化***，***實現了國產化，已經在雄安新區(qū)落地”指出，國產***廠的開發(fā)，而是北京高能同步輻射光源項目（heps）。

據中國電子院消息heps是中國最早的高能同步加速器光源，也是世界上亮度最高的第四代同步加速器光源之一，坐落于北京懷柔雁棲湖畔，正位于中國湖北“十三五”規(guī)劃的重大科技基礎設施。預計最早將于2019年開始建設，到2025年末啟動。

heps的作用是通過加速器加速到6gev電子束，注入1360米周長的儲存環(huán)節(jié)以接近光速的速度運行，保持電子束通過儲存在環(huán)的位置彎轉磁鐵或插入各種件時放出偏向軌道的切線方向，會隨著穩(wěn)定、高熱、高亮度的光也同步輻射光。總之heps可以看作是超精密、超高速、穿透力強大巨大的機器，它產生的x光片可以冒著小的物質是深入內部立體掃描，分子、原子的尺度多維度地觀察微觀世界，heps，進行科學實驗的大科學裝置，并不是網傳的***廠了。

這些工作將在全國勘察設計大師，國投集團首席科學家louyu帶領中國文化院，電子技術攻克科研和設計團隊協(xié)同合作項目不平衡沉降，微小的振動控制，超長結構設計，太陽能板設計，精密溫度控制，冷卻水循環(huán)系統(tǒng)，超復雜工程系統(tǒng)等技術難題。目前，高能同步加速器輻射光源部隊工程已全面完工。