SuperViewW1白光輪廓儀是以白光干涉技術為原理,實現器件亞納米級表面形貌測量的光學檢測儀器。多用于測量大范圍光滑的樣品,尤其擅長亞納米級超光滑表面的檢測,追求檢測數值的準確;測量行程有140*100*100㎜,對于測量物體整個區域表面情況,還可以使用自動拼接測量、定位自動多區域測量功能。拼接測量功能3軸光柵閉環反饋,在樣品表面抽取多個區域測量,就可以快速實現大區域、高精度的測量,從而對樣品進行評估分析。


以共聚焦測量技術為原理的VT6000共聚焦顯微鏡,擅長微納級粗糙輪廓的檢測,更容易測陡峭邊緣,雖在檢測分辨率上略遜,但成像圖色彩斑斕,便于觀察。


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