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光學輪廓儀測粗糙度怎么測?

中圖儀器 ? 2022-10-14 17:33 ? 次閱讀

SuperViewW1光學輪廓儀以白光干涉技術為原理,能夠以優于納米級的分辨率,測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數,廣泛應用于光學,半導體,材料,精密機械等等領域。是一款非接觸測量樣品表面形貌的光學測量儀器。

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粗糙度分析操作步驟:
1.將樣品放置在夾具上,確保樣品狀態穩定;
2.將夾具放置在載物臺上;
3.檢查電機連接和環境噪聲,確認儀器狀態;
4.使用操縱桿調節三軸位置,將樣品移到鏡頭下方并找到樣品表面干涉條紋;
5.完成掃描設置和命名等操作;
6.點擊開始測量(進入3D視圖窗口旋轉調整觀察一會);
7.進入數據處理界面,點擊“去除外形”,采用默認參數,點擊應用獲取樣品表面粗糙度輪廓;
8.進入分析工具模塊,點擊參數分析,直接獲取面粗糙度數據,點擊右側參數標準可更換參數標準,增刪參數類型;
9.如果想獲取線粗糙度數據,則需提取剖面線;
10.進入數據處理界面,點擊“提取剖面”圖標,選擇合適方向剖面線進行剖面輪廓提取;
11.進入分析工具界面,點擊“參數分析”圖標,點擊右側參數標準,勾選所需線粗糙度相關參數,即可獲取線粗糙度Ra數據。

光學輪廓儀采用了CCD取代了顯微鏡中的目鏡,可以直接從電腦上實時視頻窗口觀察樣品表面形貌,也可以通過重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌,樣品表面形貌展示得更加清晰,圖像更大,觀察更加方便。

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