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用光學(xué)輪廓儀檢測(cè)表面三維形貌的典型應(yīng)用

中圖儀器 ? 2022-06-15 15:57 ? 次閱讀
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SuperViewW1 光學(xué)輪廓儀可測(cè)各類(lèi)從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

產(chǎn)品功能

1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測(cè)量功能;
2)測(cè)量中提供自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能;
3)測(cè)量中提供自動(dòng)拼接測(cè)量、定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能;
4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;
5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;
6)分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

典型應(yīng)用

pYYBAGJ-IumADqkBAAMV90teazE374.jpg典型應(yīng)用

pYYBAGKpjzuAKUS1AAgftqe3NJQ919.png應(yīng)用范例
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