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      陸芯精密切割——精密劃片機優勢及工藝介紹

      博捷芯半導體 ? 2021-12-13 14:42 ? 次閱讀

      陸芯精密晶圓切割機優勢

      1.設備精準度高（0.0001mm）

      2.切割精度1.5um

      3.效率高

      4.加工品種多樣化（晶圓、陶瓷、玻璃、QFN/DFN、PCB基板等）

      5.成本低（設備、加工耗材、設備保養維護）

      6.環境要求低（普通千級無塵車間）

      7.操作簡單易懂易上手（對標DISCO）

      8.售后服務好

      9.機器交付周期短

      poYBAGG262uAZF9OAAHszp9AY6M555.jpg


      常見切割品種及簡單工藝介紹


      poYBAGG262yAPhizAAIAIkeSHDE952.jpg

      一、BGA/WAFER類晶圓

      切割刀片

      SD1000N25MR020752D*0.048T*40H

      膜型號

      LINTEC

      主軸轉速

      28000-30000rpm

      切割水流量

      Blade1.0-1.2L/min

      Shower0.8-1.2L/min

      校準方式

      手動校準、自動校準

      切割效率

      8寸平均1h/片、12寸平均1.5h/片



      pYYBAGG262uAQTe-AAGLrhQBnD4062.jpg

      二、二極管、三極管、MOS管類硅片

      切割刀片

      ZH05-SD4000-N1-70BA

      膜型號

      SPV224

      主軸轉速

      38000-50000rpm

      切割水流量

      Blade1.2-1.5L/min

      Shower1.0-1.2L/min

      校準方式

      手動校準、自動校準

      切割效率

      4寸10min/片、6寸20min/片、8寸30min/片、12寸1h/片

      poYBAGG262uAVd_GAAC4nJFyxJM667.jpg

      三、氧化鋁、碳化硅類陶瓷

      切割刀片

      SDC500-R75TNF56D×0.15T×40H

      膜型號

      LINTEC

      主軸轉速

      25000-35000rpm

      切割水流量

      Blade1.2-1.5L/min

      Shower1.0-1.2L/min

      校準方式

      手動校準、自動校準

      切割效率

      平均30min/片

      pYYBAGG262yARNnCAAF_BAC2caQ160.jpg

      四、光學玻璃、浮法玻璃類

      切割刀片

      SD1000N25MR020756D*0.1T*40H

      膜型號

      LINTEC

      主軸轉速

      28000-35000rpm

      切割水流量

      Blade0.8-1.0L/min

      Shower1.0-1.2L/min

      校準方式

      手動校準、自動校準

      切割效率

      平均20min/片

      pYYBAGG2622ASpBVAAHaJjr_FUM114.jpg

      五、QFN/DFN類

      切割刀片

      SDC320R01Q58D-0.3T-40H

      膜型號

      6360-15

      主軸轉速

      21000rpm

      切割水流量

      Blade1.2-1.5L/min

      Shower1.2-1.5L/min

      校準方式

      自動校準

      切割效率

      5-8min/條

      pYYBAGG262yAJOh8AAGKcQDycmo406.jpg

      六、PCB/MEMS基板類

      切割刀片

      D8/20-MDS56D-0.1T-40H2d/1W/16N

      膜型號

      6360-15

      主軸轉速

      25000rpm

      切割水流量

      Blade1.2-1.5L/min

      Shower1.2-1.5L/min

      校準方式

      自動校準

      切割效率

      5min/條

      poYBAGG2622AeopyAAFQ4KkQcTo993.jpg

      七、碳纖維板、玻璃纖維板類

      切割刀片

      D8/20-MDS56D-0.1T-40H2d/1W/16N

      膜型號

      6360-15

      主軸轉速

      35000rpm

      切割水流量

      Blade1.2-1.5L/min

      Shower1.2-1.5L/min

      校準方式

      手動校準、自動校準

      切割效率

      20min/片


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