10.8.3 體硅微加工工藝∈《集成電路產業全書》
Bulk-Si Micromachining Technology
審稿人：北京大學 王瑋
審稿人：北京大學 張興 蔡一茂
https://www.pku.edu.cn
10.8 集成微系統技術
第10章 集成電路基礎研究與前沿技術發展
《集成電路產業全書》下冊
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