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6.3.5.5 界面的不穩(wěn)定性∈《碳化硅技術(shù)基本原理——生長(zhǎng)、表征、器件和應(yīng)用》

深圳市致知行科技有限公司 ? 2022-01-19 09:16 ? 次閱讀

6.3.5.5 界面的不穩(wěn)定性

6.3.5 氧化硅/SiC 界面特性及其改進(jìn)方法

6.3 氧化及氧化硅/SiC 界面特性

第6章碳化硅器件工藝

《碳化硅技術(shù)基本原理——生長(zhǎng)、表征、器件和應(yīng)用》

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