9.6.8 化學機械拋光墊和化學機械修整盤∈《集成電路產業全書》
Chemical Mechanical Polishing Pad and Conditioning Disc
撰稿人：安集微電子科技(上海)股份有限公司 王淑敏
http://page.anjimicro.com
審稿人：浙江大學 余學功
https://www.zju.edu.cn
9.6 工藝輔助材料
第9章 集成電路專用材料
《集成電路產業全書》下冊
聲明：本文內容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網站授權轉載。文章觀點僅代表作者本人，不代表電子發燒友網立場。文章及其配圖僅供工程師學習之用，如有內容侵權或者其他違規問題，請聯系本站處理。
舉報投訴
-
集成電路
+關注
關注
5424文章
12042瀏覽量
368377
發布評論請先 登錄
相關推薦
熱點推薦
半導體國產替代材料 | CMP化學機械拋光（Chemical Mechanical Planarization）
一、CMP工藝與拋光材料的核心價值化學機械拋光（ChemicalMechanicalPlanarization，CMP）是半導體制造中實現晶圓表面全局平坦化的關鍵工藝，通過“化學腐蝕+機械
深度解析芯片化學機械拋光技術
化學機械拋光（Chemical Mechanical Polishing, 簡稱 CMP）技術是一種依靠化學和機械的協同作用實現工件表面材料去除的超精密加工技術。下圖是一個典型的 CMP 系統示意圖：
全球CMP拋光液大廠突發斷供？附CMP拋光材料企業盤點與投資邏輯（21361字）
(CMP)DSTlslurry斷供：物管通知受臺灣出口管制限制，Fab1DSTSlury(料號:M2701505,AGC-TW)暫停供貨，存貨僅剩5個月用量(267桶)。DSTlslurry?是一種用于半導體制造過程中的拋光液，主要用于化學機械拋光（CMP）工藝。這種
一文詳解銅互連工藝
銅互連工藝是一種在集成電路制造中用于連接不同層電路的金屬互連技術，其核心在于通過“大馬士革”（Damascene）工藝實現銅的嵌入式填充。該工藝的基本原理是：在絕緣層上先蝕刻出溝槽或通孔，然后在溝槽或通孔中沉積銅，并通過化學機械拋光
化學機械拋光液的基本組成
化學機械拋光液是化學機械拋光（CMP）工藝中關鍵的功能性耗材，其本質是一個多組分的液體復合體系，在拋光過程中同時起到化學反應與機械研磨的雙重
半導體芯片集成電路工藝及可靠性概述
（Czochralski）生長為圓柱形硅錠。切割與拋光：硅錠切割成0.5-1mm厚的晶圓（常見尺寸12英寸/300mm），經化學機械拋光（CMP）達到納米級平整度。2.氧
SiC外延片的化學機械清洗方法
外延片的質量和性能。因此，采用高效的化學機械清洗方法，以徹底去除SiC外延片表面的污染物，成為保證外延片質量的關鍵步驟。本文將詳細介紹SiC外延片的化學機械清洗方法
一文詳解銅大馬士革工藝
但隨著技術迭代，晶體管尺寸持續縮減，電阻電容（RC）延遲已成為制約集成電路性能的關鍵因素。在90納米及以下工藝節點，銅開始作為金屬互聯材料取代鋁，同時采用低介電常數材料作為介質層，這一轉變主要依賴于銅大馬士革工藝（包括單鑲嵌與雙鑲嵌）與化學機械拋光（CMP）技術的結合。
化學機械拋光技術(CMP)的深度探索
在半導體制造這一高度精細且復雜的領域里，CMP（化學機械拋光）技術就像是一顆默默閃耀在后臺的璀璨寶石，盡管不為普通大眾所知曉，但在芯片制造的整個流程中，它卻是不可或缺的重要一環。今天，讓我們共同深入
【「大話芯片制造」閱讀體驗】+芯片制造過程工藝面面觀
，光刻工藝，蝕刻工藝，離子注入工藝，化學機械拋光，清洗工藝，晶圓檢驗工藝。
后道工序包括組裝工藝，檢驗分揀工藝
書中的示意圖很形象
然后書中用大量示意圖介紹了基板工藝和布線工藝
發表于 12-16 23:35
控制12寸再生晶圓雙面拋光平坦度的方法有哪些？
引起的變形問題。
化學機械拋光（CMP）技術：
CMP技術結合了化學腐蝕和機械研磨的雙重作用，可以在晶圓表面形成一層化學反應層，并通過機械研
CMP的平坦化機理、市場現狀與未來展望
CMP技術概述 化學機械拋光（CMP，Chemical Mechanical Polishing）作為一種關鍵的半導體制造工藝，近年來隨著半導體產業的快速發展，其重要性日益凸顯。CMP通過化學腐蝕
機械拋光用的什么設備和輔助品
機械拋光是一種通過物理或化學作用改善材料表面粗糙度和光澤度的過程。這個過程通常用于金屬、塑料、玻璃和其他材料的表面處理。機械拋光設備和輔助品的選擇取決于材料類型、拋光目的和預期的表面質
機械拋光和電解拋光的區別是什么
機械拋光和電解拋光是兩種常見的金屬表面處理技術，它們在工業制造、精密工程、醫療器械、汽車制造、航空航天等領域有著廣泛的應用。這兩種技術各有特點和優勢，適用于不同的材料和場合。下面將介紹這兩種拋光技術
工商網監
評論