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ASML的EUV***研發歷程

微云疏影 ? 來源:綜合整理 ? 作者:綜合整理 ? 2023-06-08 09:37 ? 次閱讀

euv即極紫外線光刻技術是光刻技術領域的新技術,被視為未來半導體制造領域的重要部分。但是,euv技術的開發存在很多困難,仍然存在局限性。

asml是euv技術開發的領先者。asml公司是半導體領域***生產企業的領頭羊,也是全球市場占有率最大的***生產企業。2012年,asml推出了世界上第一個euv試制品,并于2016年推出了euv第一個商用顯卡制造機asmlnxe:3400b。共花費了7年的時間。2019年,asml發布了euv的第一個量產版本asmlnxe:3400c,宣布euv***技術的正式量產階段。

在asml中,euv***的開發過程也很長。asml將從2001年開始投入巨額資金和人力,到2019年批量生產,歷時10年完成。這體現了euv***技術在發展過程中所克服的技術難題和挑戰。

asml公司的euv***技術的突破是***領域的偉大成就,但據許多報道,***的突破并不完全是事實。也有媒體不正確或報道不完全或夸張描寫,試圖吸引眼球的情況。

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