近日（4月17-19日），第25屆中國集成電路制造年會（CICD）在廣東廣州舉行，該會議由中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會集成電路分會等多家中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)權(quán)威機(jī)構(gòu)主辦，是我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈最具影響力的權(quán)威研討會。

自2020年開始，該會議連續(xù)三屆在廣州舉辦，在同年廣東省發(fā)布《廣東省培育半導(dǎo)體及集成電路戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)集群行動計劃（2021-2025年）》，“1+20”戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)集群等政策，展現(xiàn)了廣東省打造中國半導(dǎo)體第三極的決心。

其中，高端傳感器、MEMS智能傳感器等被列入廣東省半導(dǎo)體、新一代信息技術(shù)發(fā)展重點(diǎn)，并獲得優(yōu)先扶持。從本屆大會獲悉，廣東在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)已投入超5000億元！廣東在建擬建半導(dǎo)體重大項(xiàng)目近40個，其中包括廣州增芯12英寸先進(jìn)MEMS傳感器及特色工藝晶圓制造量產(chǎn)線項(xiàng)目等為代表的投資超百億級項(xiàng)目。

廣東不只要做中國半導(dǎo)體第三極，在某些細(xì)分領(lǐng)域，譬如MEMS傳感器等，更是要力爭第一！

廣東半導(dǎo)體總投資已超5000億元！重大項(xiàng)目近40個！MEMS智能傳感器等百億項(xiàng)目實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)破局！300億半導(dǎo)體新資金正在路上！

在本屆中國集成電路制造年會（CICD）上，傳遞了許多重磅信息，展示了廣東這幾年來打造MEMS傳感器等半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的成果。

廣東作為科技產(chǎn)業(yè)集聚的重要區(qū)域，其半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展亦居全國前列。數(shù)據(jù)顯示，2021年，廣東半導(dǎo)體&集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)銷售額1404億元，在全國占比12.5%。

當(dāng)前，廣東省在建擬建的集成電路重大項(xiàng)目近40個左右，總投資超過了5000億元。按照國家部署，廣東正加強(qiáng)產(chǎn)業(yè)布局，已基本形成了以廣州、深圳、珠海為核心，帶動佛山、東莞等地協(xié)同發(fā)展的3+n的產(chǎn)業(yè)格局。

此外，廣東半導(dǎo)體及集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金二期正在籌備中，規(guī)模達(dá)300億元，基金期限長達(dá)17年，母基金可直接投資公司，包括汽車芯片，半導(dǎo)體材料設(shè)備，化合物半導(dǎo)體等主題。

根據(jù)“十四五”規(guī)劃，到2025年，廣東半導(dǎo)體及集成電路產(chǎn)業(yè)營業(yè)收入突破4000億元，集成電路設(shè)計水平進(jìn)入國際先進(jìn)行列，建成較大規(guī)模特色工藝制程生產(chǎn)線，產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈自主可控水平進(jìn)一步增強(qiáng)，打造我國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展第三極。

打造MEMS傳感器等3個百億級項(xiàng)目，不只是補(bǔ)齊缺芯短板，更力爭MEMS等細(xì)分領(lǐng)域第一！

大會透露，日前公布的廣東省2023年重點(diǎn)建設(shè)項(xiàng)目計劃中，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)相關(guān)的項(xiàng)目超50個，涵蓋第三代半導(dǎo)體、封裝測試、半導(dǎo)體材料、MLCC、傳感器等領(lǐng)域，總投資逾1400億，其中包括三個百億級項(xiàng)目。

這些項(xiàng)目包括廣州增芯12英寸先進(jìn)MEMS傳感器及特色工藝晶圓制造量產(chǎn)線項(xiàng)目、粵芯半導(dǎo)體12英寸集成電路模擬特色工藝生產(chǎn)線項(xiàng)目（三期）、深圳方正微電子第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)化基地建設(shè)項(xiàng)目、芯粵能碳化硅芯片生產(chǎn)線項(xiàng)目等。

其中，增芯MEMS產(chǎn)線、粵芯三期項(xiàng)目、方正微電子產(chǎn)業(yè)化基地是投資超過百億級別的重頭項(xiàng)目，對補(bǔ)齊半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈各個領(lǐng)域的短板具有重要意義，更在部分細(xì)分賽道力爭第一。

以增芯MEMS產(chǎn)線為例，2022年12月，增芯12英寸先進(jìn)MEMS智能傳感器及特色工藝晶圓制造量產(chǎn)線項(xiàng)目開工建設(shè)，計劃2024上半年通線，2025年年底滿產(chǎn)。據(jù)《廣州市2022年重點(diǎn)建設(shè)項(xiàng)目計劃》顯示，廣州增芯項(xiàng)目總投資將達(dá)到370億元！打造集研發(fā)、量產(chǎn)制造、封測與應(yīng)用為一體的MEMS制造平臺。一期第一階段達(dá)產(chǎn)后產(chǎn)能2萬片/月；一期第二階段達(dá)產(chǎn)后產(chǎn)能擴(kuò)至6萬片/月。

當(dāng)前全球最大的MEMS晶圓代工廠——賽微電子旗下瑞典Silex產(chǎn)線（FAB1&FAB2），年產(chǎn)能約84000片，賽微電子北京產(chǎn)線（FAB3）目前規(guī)劃產(chǎn)能30000片/年，中芯集成（紹興）的MEMS晶圓代工年銷量約85000片左右。

▲賽微電子MEMS產(chǎn)能數(shù)據(jù)（來自賽微電子2021年報）

且以上MEMS晶圓代工產(chǎn)線均是8英寸線，12英寸晶圓較8英寸晶圓相比，其面積上提升約2.23倍，就單硅片產(chǎn)出來看，8英寸晶圓產(chǎn)出芯片88塊，而12英寸晶圓產(chǎn)出芯片則達(dá)到232塊。

因此，廣州增芯12英寸MEMS產(chǎn)線一期月產(chǎn)2萬片年產(chǎn)24萬片，后期年產(chǎn)36萬片12英寸MEMS晶圓的產(chǎn)能規(guī)劃，如果投產(chǎn)順利，將極大可能鎖定中國乃至全球最大的MEMS晶圓代工廠的位置，將對我國傳感器產(chǎn)業(yè)格局有較大影響。

廣東作為中國經(jīng)濟(jì)最強(qiáng)省份，憋著一股氣打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，做到國內(nèi)第三極，更要力爭第一！

廣東力爭中國半導(dǎo)體第三極！MEMS智能傳感器是彎道超車重點(diǎn)！獲優(yōu)先扶持！

長期以來，廣東省半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展滯后，遠(yuǎn)不如上海市、江蘇省等兄弟省市。據(jù)悉是由于錯位發(fā)展的需要，廣東大力發(fā)展光電顯示產(chǎn)業(yè)，而上海在上世紀(jì)80年代就布局芯片產(chǎn)業(yè)。

在國家支持下，2020年廣東發(fā)布《廣東省培育半導(dǎo)體及集成電路戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)集群行動計劃（2021-2025年）》政策，開始大力打造廣東半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，其中提到廣東半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)存在諸多嚴(yán)峻的問題：

一是創(chuàng)新能力不強(qiáng)，創(chuàng)新要素投入不足，關(guān)鍵核心技術(shù)研發(fā)能力薄弱。二是設(shè)計企業(yè)普遍規(guī)模偏小，高水平設(shè)計能力不足。三是制造環(huán)節(jié)短板明顯，實(shí)現(xiàn)規(guī)模化量產(chǎn)的12英寸晶圓線僅1條。四是高校人才培養(yǎng)嚴(yán)重短缺，微電子專業(yè)在校生不足2000人，人才引進(jìn)難度越來越大，人才供求矛盾突出。五是對外依存度高，產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈安全可控性亟待提升。在當(dāng)前國際技術(shù)封鎖及國內(nèi)區(qū)域競爭加劇的背景下，迫切需要加快補(bǔ)齊產(chǎn)業(yè)鏈短板，提升產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈穩(wěn)定性安全性，為推動制造業(yè)高質(zhì)量發(fā)展提供有力支撐。

當(dāng)前，廣東雖然有大量的芯片設(shè)計企業(yè)，但芯片制造產(chǎn)線寥寥無幾。以傳感器產(chǎn)業(yè)為例，此前粵港澳大灣區(qū)傳感器芯片產(chǎn)線缺乏，只有奧松電子等幾條MEMS傳感器芯片產(chǎn)線，許多企業(yè)流片、生產(chǎn)需要到長三角甚至國外尋找代工公司合作。

芯片分為邏輯運(yùn)算、存儲器和傳感器三大門類，我國已經(jīng)在上海、北京、武漢、合肥等地建設(shè)了邏輯運(yùn)算和存儲器的主要產(chǎn)業(yè)平臺，而傳感器是萬物互聯(lián)的基礎(chǔ)、應(yīng)用廣泛，亟待進(jìn)一步發(fā)展。同時，我國傳感器產(chǎn)業(yè)羸弱，中高端傳感器80%需要進(jìn)口，傳感器芯片進(jìn)口率達(dá)90%已成共識，國產(chǎn)傳感器發(fā)展空間較大。

某種程度上，MEMS智能傳感器成為廣東半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)彎道超車的最佳賽道之一，在政策中，傳感器及MEMS也被作為多項(xiàng)重點(diǎn)工程提及。

此后，以廣州、深圳為核心，廣東傳感器產(chǎn)業(yè)獲得的政策支持，均處于前列，都是作為首批獲得資金扶持的產(chǎn)業(yè)。

2022年4月，廣東省工信廳印發(fā)《2022年廣東省數(shù)字經(jīng)濟(jì)工作要點(diǎn)》，要全面實(shí)施“廣東強(qiáng)芯”工程，加快灣區(qū)半導(dǎo)體、廣大融智、智能傳感器三大產(chǎn)業(yè)集團(tuán)建設(shè)。

一、成立廣東省半導(dǎo)體及集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金（總規(guī)模500億，首期200億）：設(shè)立子基金、生態(tài)子基金和風(fēng)險子基金；二、粵芯CanSemi12英寸模擬特色工藝線三期四期投資400億元；三、粵港澳大灣區(qū)科技創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)投資基金，總規(guī)模1000億，首期200億元；四、灣區(qū)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集團(tuán)，首期160億元，目標(biāo)300億元；五、廣大融智產(chǎn)業(yè)集團(tuán)，一期100億元；六、智能傳感器產(chǎn)業(yè)集團(tuán)，100億。

同年，深圳出臺《關(guān)于發(fā)展壯大戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)集群和培育發(fā)展未來產(chǎn)業(yè)的意見》，培育發(fā)展壯大“20+8”產(chǎn)業(yè)集群，即發(fā)展以先進(jìn)制造業(yè)為主體的20個戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)集群，前瞻布局8大未來產(chǎn)業(yè)。包括智能傳感器、智能傳感器、精密儀器、新能源、高端醫(yī)療器械等產(chǎn)業(yè)集群。

為壯大相關(guān)產(chǎn)業(yè)，深圳以“一個產(chǎn)業(yè)集群至少有一只基金配套支持”的理念，成立相關(guān)基金，基金群總規(guī)模達(dá)千億級。

其中，智能傳感器、合成生物、新能源汽車、生物醫(yī)藥產(chǎn)業(yè)共四個重點(diǎn)方向?yàn)槭着刃挟a(chǎn)業(yè)，基金已在2022年12月落地，規(guī)模達(dá)165億元。

廣東省首個智能傳感器產(chǎn)業(yè)園揭牌！數(shù)百億智能傳感器產(chǎn)業(yè)基金成立！廣東省瘋狂搞傳感器！力爭第一？！

從2021年后，廣東省對傳感器產(chǎn)業(yè)的投入明顯加強(qiáng)，節(jié)奏也明顯加快。無論是廣東省政策，還是廣州市、深圳市兩大核心城市，對于傳感器產(chǎn)業(yè)的政策鼓勵，優(yōu)先級都是排在前列的。

2021年8月，廣東省政府正式發(fā)布《廣東省制造業(yè)高質(zhì)量發(fā)展“十四五”規(guī)劃》(以下簡稱《規(guī)劃》)。

在芯片設(shè)計方面，廣州重點(diǎn)發(fā)展智能傳感器、射頻濾波器、第三代半導(dǎo)體，建設(shè)綜合性集成電路產(chǎn)業(yè)聚集區(qū)；芯片制造方面，廣州以硅基特色工藝晶圓代工線為核心，布局建設(shè)12英寸集成電路制造生產(chǎn)線，深圳定位28納米及以下先進(jìn)制造工藝和射頻、功率、傳感器、顯示驅(qū)動等高端特色工藝，推動現(xiàn)有芯片制造生產(chǎn)線產(chǎn)能和技術(shù)水平提升；在封測方面，廣州發(fā)展器件級、晶圓級MEMS封裝和系統(tǒng)級測試技術(shù)等。

▲來源：《廣東省制造業(yè)高質(zhì)量發(fā)展“十四五”規(guī)劃》

2021年9月，廣東省首個智能傳感器產(chǎn)業(yè)園——粵港澳大灣區(qū)智能傳感器產(chǎn)業(yè)園，正式揭牌，并于2022年8月建成。廣東智能傳感器產(chǎn)業(yè)園位于廣州人工智能與數(shù)字經(jīng)濟(jì)試驗(yàn)區(qū)（魚珠片區(qū)）北側(cè)，總占地面積約10.79萬㎡，建筑面積49.8萬㎡，總投資26.8億元。力爭5年內(nèi)建成立足粵港澳大灣區(qū)輻射全國、具有國際影響力的智能傳感器產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)，形成千億級產(chǎn)業(yè)集群。

而中國傳感器產(chǎn)業(yè)排名TOP2的兩大傳感器園區(qū)，江蘇工業(yè)園區(qū)和上海嘉定工業(yè)園區(qū)，早在20214年和2016年已形成一定規(guī)模，建設(shè)完善的MEMS傳感器芯片中試平臺。

2021年11月，注冊資本達(dá)100億元的灣區(qū)智能傳感器產(chǎn)業(yè)集團(tuán)成立，由興橙資本作為發(fā)起人組建，在海外購買IMEC技術(shù)授權(quán)，將上海乃至全球的先進(jìn)傳感器技術(shù)在大灣區(qū)應(yīng)用推廣。集團(tuán)將快速打造核心產(chǎn)業(yè)平臺，建設(shè)對標(biāo)世界先進(jìn)水平的12英寸MEMS傳感器量產(chǎn)線、12英寸晶圓級MEMS傳感器封裝和SIP系統(tǒng)級傳感器封測量產(chǎn)線，在增城南香山打造千畝空間的產(chǎn)業(yè)園。

2022年3月，深圳市工業(yè)和信息化局發(fā)布關(guān)于公開征求《深圳市關(guān)于推動智能傳感器產(chǎn)業(yè)加快發(fā)展的若干措施》（征求意見稿）意見的通告，相關(guān)政策于同年12月出臺。

深圳將從健全產(chǎn)業(yè)公共服務(wù)能力、構(gòu)建核心技術(shù)競爭力和強(qiáng)化市場牽引發(fā)展能力三方面，加快發(fā)展智能傳感器產(chǎn)業(yè)集群，促進(jìn)產(chǎn)業(yè)邁向全球價值鏈高端。政策顯示，對企業(yè)能夠解決智能傳感器產(chǎn)業(yè)“卡脖子”問題的，資金資助最高達(dá)到了1億元！（相關(guān)政策內(nèi)容參看《最高資助1億！深圳要解決智能傳感器產(chǎn)業(yè)“卡脖子”問題（附政策全文）》）

2022年9月，深圳市光明區(qū)政府發(fā)布《深圳市光明區(qū)關(guān)于支持智能傳感器產(chǎn)業(yè)集群高質(zhì)量發(fā)展的若干措施(征求意見稿)》。光明區(qū)將支持建設(shè)一條兼具研發(fā)中試和量產(chǎn)能力的亞微米級8英寸MEMS中試線，重點(diǎn)推動深硅刻蝕、薄膜沉積、薄膜應(yīng)力控制等核心制造工藝升級，形成標(biāo)準(zhǔn)工藝設(shè)計工具包(PDK)，面向市內(nèi)外有關(guān)企業(yè)提供研發(fā)中試和批量代工服務(wù)。

據(jù)了解，上述中試線項(xiàng)目總投資額15.33億元，建成后一條線產(chǎn)能可達(dá)3000片。同時，深圳市還計劃將總規(guī)模50億元的智能傳感器產(chǎn)業(yè)基金落地光明。

2022年9月，廣東越海集成高端傳感器8寸/12寸TSV封裝項(xiàng)目生產(chǎn)基地開工建設(shè)，將建設(shè)晶圓級封裝生產(chǎn)線、3D傳感器模塊生產(chǎn)線，建成12寸TSV封裝產(chǎn)能每月1.3萬片，8寸及兼容4/6寸TSV封裝產(chǎn)能每月2萬片，填補(bǔ)了增城、廣州乃至廣東在“晶圓級先進(jìn)封裝”領(lǐng)域的空白，可服務(wù)于新能源汽車、自動駕駛、消費(fèi)電子、安防監(jiān)控、生物醫(yī)療、物聯(lián)網(wǎng)、智能制造等多個領(lǐng)域。項(xiàng)目計劃投資總額將超60億元，建成后預(yù)計年產(chǎn)值超40億元。

2022年12月，增芯12英寸先進(jìn)MEMS智能傳感器及特色工藝晶圓制造量產(chǎn)線項(xiàng)目開工建設(shè)，詳細(xì)情況參看上文。

2023年1月，深圳市光明區(qū)智能傳感與精密儀器先進(jìn)制造業(yè)園區(qū)開工建設(shè)，項(xiàng)目位于光明區(qū)西南直角產(chǎn)業(yè)帶，綜合開發(fā)范圍1.95平方公里，規(guī)劃容積382.51萬平方米，分四期開發(fā)，項(xiàng)目總投資達(dá)81.9億元。

這是繼粵港澳大灣區(qū)智能傳感器產(chǎn)業(yè)園后，廣東省第二個成規(guī)模的傳感器產(chǎn)業(yè)園區(qū)。

結(jié)語

因發(fā)展側(cè)重等需要，長期以來，廣東半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)遠(yuǎn)遠(yuǎn)落后于長三角的上海、江蘇等兄弟省市。

近年來，隨著廣東半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)受到重視，吹響了打造中國半導(dǎo)體第三極的號角，當(dāng)前廣東半導(dǎo)體在建擬建項(xiàng)目總投資超5000億元，已邁出了堅實(shí)的步伐。

廣東自改革開放以來，長久占據(jù)中國經(jīng)濟(jì)最強(qiáng)省份的寶座，如今憋著股氣發(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，除了要做到國內(nèi)第三極，在某些細(xì)分領(lǐng)域，譬如MEMS傳感器等，更是要力爭第一，實(shí)現(xiàn)彎道超車！

自2020年以來，廣東密集推出扶持傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展的各項(xiàng)政策措施，其力度之大、政策范圍之廣，超過其他兄弟省份城市，可見廣東對于發(fā)展傳感器產(chǎn)業(yè)的決心，廣東在全力搞傳感器產(chǎn)業(yè)！未來可期！