MEMS傳感器在電子煙中的應用

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電子煙及MEMS

電子煙不含焦油及懸浮顆粒等有害成分，隨著人們健康意識的提升，抽電子煙正成為一種趨勢。并且，電子煙的煙油可以加入不同成分的調味劑進行調味，用戶可以根據自己的喜好選擇煙油的口味。

MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）一般指微機電系統，是在微米級尺寸上進行精密微加工，制作形成各種類型的微傳感器及微執行器。壓力傳感器是MEMS傳感器中最早出現及應用的傳感器之一，從檢測原理上主要分為壓阻型及電容型，兩者是用硅材料通過圖形轉移及刻蝕方法，制作成微米級的壓力敏感膜片。

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電子煙咪頭

目前市場上電子煙產品，主要使用咪頭作為壓力開關。咪頭成本低廉，但也存在一些使用中的痛點需要解決。

一致性：

多零件組裝，存在裝配公差，不能保證觸發壓力的一致性

防油性：

煙油或水汽進入電容膜片間隙，造成性能降低，嚴重情況甚至失效

SMT兼容性：

需要手工焊接，而且對焊接工要求挺高，這是影響產能的一個原因

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基于單顆器件的解決方案

單顆差壓傳感器實現吸力檢測

器件膜片一側接觸氣流通道，另一側接觸大氣壓力，防水防油

多種輸出接口：中斷，頻率，I2C

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相對傳統咪頭的優勢

低成本：單芯片差壓檢測，整機設計更加緊湊

防油性：采用背面進氣方式，防水防油

一致性：MEMS微米級加工工藝，器件差異性小，并且出廠前校準測試，保證觸發壓力一致

敏芯股份認為，MEMS壓力傳感器是電子煙中可實現抽吸開關的最優解決方案之一。為此通過反復改良優化，擁有卓越可靠性與穩定性的敏芯MEMS壓力傳感器，已獲得眾多客戶的認可與信賴并持續供貨放量。此外，利用MEMS平臺型企業的技術疊加優勢，敏芯股份率先開發了包括流量計和流量開關在內的芯片，實現對電子煙高中低品牌市場的覆蓋。

審核編輯 ：李倩