近日，中芯國際與ASML達成12億美元交易購買晶圓生產設備的消息引發關注。針對雙方此次合作，有媒體報道稱“除了 EUV ***，中芯國際幾乎可以買到其他所有型號的***。”但是這一說法很快被ASML官方澄清，該協議與DUV光刻技術的現有協議相關。

可能很多網友看到這里有點蒙圈，這繞來繞去的到底是玩的什么文字游戲。這里先進行一個小科普，EUV和DUV到底有啥區別呢？EUV也就是“極深紫外線”的意思，而DUV是“深紫外線”的意思，通過字面就知道EUV看上去就比DUV高級，實際上也是如此。

ASML澄清與中芯國際交易細節

一般來講，DUV基本上只能做到25nm，Intel憑借雙工作臺的模式做到了10nm，但是卻無法達到10nm以下。只有EUV能滿足10nm以下的晶圓制造，并且還可以向5nm、3nm繼續延伸。事實上EUV***的出現，確實是幫助業界突破7nm制程的一個關鍵。

當年不是傳說已經翻車的武漢弘芯曾經擁有也是國內唯一一臺可以用于生產7nm芯片的EUV***嘛，但還沒啟用就拉去銀行抵押貸款了。這一事件曾經一度引起業界轟動，并作為人們茶余飯后的談資流傳至今，由此可見7nm EUV***是多么關鍵的存在。

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