在MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）領(lǐng)域，芯片的流片環(huán)節(jié)是“最煎熬的存在”，它是科研成果走向市場(chǎng)的必經(jīng)之旅，看上去一步之遙，實(shí)則蜀道艱難。流片成本高，過程復(fù)雜，財(cái)力精力付出巨大，稍有不慎就功虧一簣，重頭再來。很多科研成果就這樣夭折在“黎明前的黑暗”里。在蘇州工業(yè)園區(qū)，有一支MEMS領(lǐng)域的博士創(chuàng)業(yè)團(tuán)隊(duì)，僅成立一年多，其自主研發(fā)的“中國(guó)芯”就在產(chǎn)業(yè)化的道路上迎來了流片成功的勝利曙光。

讓我們一起走進(jìn)2020年科技領(lǐng)軍人才企業(yè)——蘇州知芯傳感技術(shù)有限公司（簡(jiǎn)稱：知芯傳感），聽創(chuàng)始人陳巧博士講述公司的創(chuàng)業(yè)之路。

搶抓機(jī)遇

吹響創(chuàng)業(yè)集結(jié)號(hào)

微鏡是目前最熱門的MEMS核心器件之一，其內(nèi)部結(jié)構(gòu)一般在微米甚至納米量級(jí)，可以廣泛應(yīng)用在光通信、VR/AR、人臉識(shí)別、激光投影、智能車燈、汽車抬頭顯示HUD、激光雷達(dá)（LiDAR）自動(dòng)駕駛、機(jī)器人、AGV及智能安防等，前景非常廣闊。陳巧博士，就是躬耕這一領(lǐng)域13年的資深研發(fā)人。在組建知芯之前，他就已戰(zhàn)功顯赫，成功開發(fā)多款MEMS微鏡。作為核心骨干，曾參與了科技部國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)中MEMS微鏡的研發(fā)工作，并在微型傅里葉近紅外光譜儀中得到應(yīng)用。長(zhǎng)期帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)專攻MEMS微鏡芯片設(shè)計(jì)、工藝開發(fā)、封裝測(cè)試，并成功量產(chǎn)。

天時(shí)地利人和，當(dāng)時(shí)機(jī)成熟，創(chuàng)業(yè)就成了水到渠成的事。“材料方面，一家日本廠商的PZT技術(shù)已經(jīng)開發(fā)了十多年，目前處于成熟階段，我們考察之后覺得非常符合我們的需求。技術(shù)方面，我們除了埋頭研究自己的MEMS之外，也格外關(guān)注MEMS行業(yè)的前沿研究。不管是芯片結(jié)構(gòu)的先進(jìn)性，還是芯片工藝的可控度，我們對(duì)自己的芯片都有足夠的底氣。所以當(dāng)我們看到這個(gè)材料的生產(chǎn)技術(shù)成熟了，我們的技術(shù)也成熟了，就萌生了創(chuàng)業(yè)的想法。資金方面，合適的投資方都有一雙火眼金睛，他們比我們更能看到市場(chǎng)的需求和未來的方向，我們跟資方算是一拍即合。”談起當(dāng)初的創(chuàng)業(yè)沖動(dòng)，陳巧的眼睛閃過一道光。

MEMS的獨(dú)特特性使之在很多領(lǐng)域具有應(yīng)用潛力，盡管已經(jīng)有不少應(yīng)用，但整體來說MEMS市場(chǎng)仍處于起步階段。為了搶抓機(jī)遇，知芯傳感很快集結(jié)了一支穩(wěn)定、高素質(zhì)、高水平的團(tuán)隊(duì)，涵蓋了MEMS、設(shè)計(jì)、工藝、控制等領(lǐng)域。

“公司核心技術(shù)MEMS及控制方面均由具有國(guó)外領(lǐng)先技術(shù)的海外歸國(guó)博士擔(dān)任團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)人，管理團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)人來自南京大學(xué)MBA，擁有多年企業(yè)運(yùn)營(yíng)和市場(chǎng)經(jīng)驗(yàn)。主要人員均為碩士以上學(xué)歷，在相關(guān)行業(yè)都有10年以上專業(yè)經(jīng)驗(yàn)，熟悉MEMS產(chǎn)業(yè)方向，MEMS供應(yīng)鏈，對(duì)于行業(yè)的發(fā)展以及市場(chǎng)的需求都較為了解，所以我們很有信心。”陳巧驕傲地說。

落地園區(qū)

填補(bǔ)芯片生態(tài)位

MEMS制造環(huán)節(jié)門檻高、技術(shù)含量高，是制約中國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展的瓶頸，也是從實(shí)驗(yàn)室到可銷售產(chǎn)品最核心的支撐環(huán)節(jié)。

“園區(qū)有我們項(xiàng)目上下游配套產(chǎn)業(yè)鏈和產(chǎn)業(yè)集聚氛圍，這是我們選擇園區(qū)的首要條件。”陳巧告訴記者，之前的工作經(jīng)歷中，就多次接觸納米城的MEMS中試量產(chǎn)平臺(tái)，對(duì)于他們的工藝還是較為認(rèn)可的。“最近我們依靠納米城的MEMS中試量產(chǎn)平臺(tái)已進(jìn)行了兩輪流片，效果不錯(cuò)。”

而且，根據(jù)園區(qū)的相關(guān)政策，可以申請(qǐng)較為可觀的納米MEMS產(chǎn)品流片補(bǔ)貼，這著實(shí)為創(chuàng)業(yè)期的企業(yè)減輕了負(fù)擔(dān)。陳巧表示：“當(dāng)時(shí)考慮落地的時(shí)候，已經(jīng)考察過很多地方。園區(qū)的營(yíng)商環(huán)境和產(chǎn)業(yè)鏈非常適合我們這樣的初創(chuàng)企業(yè)。在這里，我們可以跟同伴一起更好地成長(zhǎng)。”

據(jù)介紹，知芯傳感將利用蘇州納米科技發(fā)展有限公司與日本愛發(fā)科共建的PZT壓電薄膜MEMS器件聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室平臺(tái)，完成PZT壓電薄膜驅(qū)動(dòng)MEMS微鏡芯片的產(chǎn)業(yè)化。知芯傳感通過與競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手產(chǎn)品異質(zhì)化的優(yōu)勢(shì)，占住了屬于自己的生態(tài)位。

厚積薄發(fā)

推動(dòng)研發(fā)市場(chǎng)化

“目前市面上的芯片一般采用諧振驅(qū)動(dòng)，而我們的芯片可采用準(zhǔn)靜態(tài)線性驅(qū)動(dòng)，精度更高，應(yīng)用范圍更廣。”陳巧介紹說，PZT壓電薄膜驅(qū)動(dòng)MEMS微鏡芯片二次流片后的測(cè)試的結(jié)果十分喜人。

據(jù)了解，為更好地發(fā)揮PZT壓電薄膜驅(qū)動(dòng)的優(yōu)勢(shì)，知芯傳感研發(fā)了一種新的結(jié)構(gòu)，相較于目前市面上的芯片，運(yùn)用了新結(jié)構(gòu)的芯片良品率更高，掃描角度更大，穩(wěn)定性更強(qiáng)。經(jīng)測(cè)試芯片在運(yùn)轉(zhuǎn)10億次以后，性能衰減較小，還可實(shí)現(xiàn)之前95%以上的性能。

“雖然我們公司成立不久，但是我們整個(gè)項(xiàng)目的籌備階段其實(shí)是經(jīng)歷了較長(zhǎng)時(shí)間的論證的，憑借多年的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)，我們研發(fā)的時(shí)候會(huì)考慮到芯片的可靠性、可加工性、可量產(chǎn)性等多方面，這不是一個(gè)短期的爆發(fā)，而是我們長(zhǎng)時(shí)間經(jīng)驗(yàn)的積累。”陳巧解釋道。

目前，知芯傳感掌握MEMS芯片設(shè)計(jì)、工藝制造、集成封裝的自主核心技術(shù)，具有MEMS產(chǎn)品化的深厚技術(shù)儲(chǔ)備，且已申請(qǐng)多項(xiàng)發(fā)明專利，具有多種MEMS器件的量產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)，部分高端產(chǎn)品短期內(nèi)將實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，而相關(guān)產(chǎn)品國(guó)內(nèi)基本無量產(chǎn)廠商。

行穩(wěn)致遠(yuǎn)

破局進(jìn)口依賴性

“現(xiàn)在國(guó)內(nèi)很多芯片還是依賴國(guó)外進(jìn)口，所以我希望我們的產(chǎn)品是符合市場(chǎng)需要的，能夠做到替代國(guó)外進(jìn)口的芯片，打破這種僵局。”陳巧對(duì)產(chǎn)品有明確的定位：“就目前我們研發(fā)的這款芯片，我們要做到中國(guó)的前三，因?yàn)樵谛酒@個(gè)行業(yè)，你如果不能擁有領(lǐng)先優(yōu)勢(shì)，那么就很難存活。”

慎始敬終，弘毅篤行，對(duì)于公司未來發(fā)展，知芯有著清晰的時(shí)間節(jié)點(diǎn)規(guī)劃。未來三年，知芯傳感將加大投入優(yōu)化產(chǎn)品設(shè)計(jì)、提升產(chǎn)品各項(xiàng)功能，突破關(guān)鍵技術(shù)，實(shí)現(xiàn)由自動(dòng)化向智能化轉(zhuǎn)變；未來五年，將擴(kuò)大生產(chǎn)車間提升公司產(chǎn)能，爭(zhēng)取成為行業(yè)該領(lǐng)域的排頭兵。未來10年，知芯傳感計(jì)劃成為全球激光雷達(dá)用MEMS微鏡芯片的領(lǐng)導(dǎo)者，為我國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)的發(fā)展、激光雷達(dá)產(chǎn)業(yè)的跨越式發(fā)展以及下游應(yīng)用產(chǎn)業(yè)的規(guī)模發(fā)展做出貢獻(xiàn)。

責(zé)任編輯：xj

原文標(biāo)題：知芯傳感，讓“MEMS微鏡”迸發(fā)市場(chǎng)活力

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