在5nm、6nm工藝大規模投產、第二代5nm工藝即將投產的情況下，芯片代工商臺積電對極紫外光刻機的需求也明顯增加。而外媒最新援引產業鏈消息人士的透露報道稱，臺積電已向阿斯麥下達了2021的極紫外光刻機訂單，至少有13臺。

阿斯麥是目前全球唯一一家能供應極紫外光刻機的廠商，臺積電、三星等廠商所需要的極紫外光刻機，也全部由阿斯麥供應。

從近兩年阿斯麥極紫外光刻機的交付量來看，臺積電下達的2021年的訂單，需要近半年才能完成。

2019年，阿斯麥是共向客戶交付26臺極紫外光刻機，13臺就是半年的交付量。今年上半年，阿斯麥極紫外光刻機出貨13臺，但完成安裝測試能確定的收入的只有9臺。

不過，阿斯麥極紫外光刻機的出貨量也在提升，在今年三季度就達到了10臺，算上此前已出貨但未確定收入的，三季度確定收入的極紫外光刻機共有14臺。

從阿斯麥在近幾個季度的財報中披露的消息來看，他們新接到的極紫外光刻機，單臺的訂單價格在1.5億歐元左右，臺積電預訂的2021年的至少13臺，也就意味著將花費約19.5億歐元。

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