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為爭取EUV頂級光刻機供貨,三星負責人拜訪AMSL荷蘭總部游說

如意 ? 來源:快科技 ? 作者:萬南 ? 2020-10-15 16:42 ? 次閱讀

據韓媒報道,三星電子副董事長李在镕在本周三(10月14日)親自飛赴ASML(阿斯麥)荷蘭總部會晤。

陪同李在镕的是三星芯片業務負責人Kim Ki-nam,ASML方面CEO Peter Wennink和CTO Martin Van den Brink均出面接待,規格頗高。

據稱,雙方探討了的核心是EUV光刻機的供應和裝配(5nm),同時也就面向AI等領域的下一代光刻機研發合作交換了意見,討論中還各自發表了對當前新冠肺炎疫情的看法。

資料顯示,三星和ASML在EUV極紫外光刻上的合作可追溯到2000年,三星在2012年的時候還投資入股ASML以加強合作,目前,三星持有ASML 1.5%股份。

另據了解,ASML正在開發NXE-5000,是其現有主力出貨EUV光刻機NXE-3400B的完全換代型號。
責編AJX

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