（文章來源：21IC）

半導體產品的生產和制造涉及多種高端精密技術，堪稱工業制造皇冠上的明珠。尤其是其中的光刻機，是生產大規模集成電路的核心設備，目前核心技術仍然把持在國外僅有的幾家大公司手中。可喜的是，國內半導體設備廠商正在奮力崛起，在提升國產集成及自研替代方面取得重大突破。

最近，福建安芯半導體公司先后交付了兩臺價值近千萬元的光刻機，客戶分別是海康威視和用于 CMOS 領域研究國內某研究所。

據了解，光刻機分為接觸式、接近式、步進式。目前國內使用較多的為步進式光刻機。光刻機是生產大規模集成電路的核心設備，制造和維護需要高度的光學和電子工業基礎，世界上只有少數廠家掌握，如 ASML、尼康、佳能。因此光刻機價格昂貴。

福建安芯半導體是福建泉州芯谷南安分園區引進的首家高科技半導體設備公司,主要經營黃光設備設備翻新、改造和安裝調試，自主研發新黃光和蝕刻設備的銷售及技術支持，并提供半導體整線解決方案，產品涉獵集成電路、LED、MEMS、顯示面板、光伏等黃光設備領域。除了向客戶提供半導體生產線設備總體解決方案的同時，也向客戶提供先進半導體器件的設計、制造等技術咨詢。福建安芯半導體總經理張琪表示，目前我們尚不能完全自主研發，但通過改造、提升，實現了 60%至 70%的國產化。

除了光刻機，半導體設備生產中還需要各種其他設備，刻蝕設備就是不可或缺的一項。最近有報道顯示，國內的中微半導體設備公司已經能夠生產高端刻蝕設備，其5nm刻蝕機已經批量生產，用于臺積電的5nm生產線中。

據官網介紹，中微半導體是一家以中國為基地、面向全球的微觀加工高端設備公司，為集成電路和泛半導體行業提供極具競爭力的高端設備和高質量的服務。中微開發的等離子體刻蝕設備和化學薄膜設備是制造各種微觀器件的關鍵設備，可加工微米級和納米級的各種器件。

根據該公司年報，中微公司開發的高端刻蝕設備已運用在國際知名客戶65納米到7納米的芯片生產線上。同時，公司根據先進集成電路廠商的需求，已開發出5納米刻蝕設備用于若干關鍵步驟的加工，并已獲得行業領先客戶的批量訂單。雖然中微沒有明說，但業界猜測這家客戶就是臺積電，因為只有臺積電量產了5nm工藝。

據了解，中微半導體目前正在配合客戶需求，開發新一代刻蝕設備和包括更先進大馬士革在內的刻蝕工藝，能夠涵蓋5納米以下刻蝕需求和更多不同關鍵應用的設備。
（責任編輯：fqj）