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簡述晶圓制造工藝流程和原理

0GkM_KIA ? 來源:djl ? 作者:KIA半導(dǎo)體 ? 2019-08-12 14:13 ? 次閱讀

2016年至今,全球晶圓的緊缺,導(dǎo)致了內(nèi)存條、固態(tài)硬盤SSD價格高漲。一時之間,讓大多數(shù)人知道了“晶圓”這個詞語。

簡單的說晶圓是指擁有集成電路的硅晶片,因為其形狀是圓的,故稱為晶圓。晶圓在電子數(shù)碼領(lǐng)域的運用是非常廣泛的。內(nèi)存條、SSD,CPU、顯卡、手機內(nèi)存、手機指紋芯片等等,可以說幾乎對于所有

簡單的說晶圓是指擁有集成電路的硅晶片,因為其形狀是圓的,故稱為晶圓。晶圓在電子數(shù)碼領(lǐng)域的運用是非常廣泛的。內(nèi)存條、SSD,CPU、顯卡、手機內(nèi)存、手機指紋芯片等等,可以說幾乎對于所有的電子數(shù)碼產(chǎn)品,晶圓都是不可缺少的。所以近年來全球晶圓的緊缺不僅僅是只導(dǎo)致了內(nèi)存條和SSD的漲價,甚至整個電子數(shù)碼產(chǎn)品領(lǐng)域都受到了非常嚴重的波及。

可見晶圓的重要性,如此緊要的晶圓,我們大多數(shù)卻對它非常陌生。我們先來說說晶圓的主要原料。晶圓是沙子做的。可能一些網(wǎng)友會噴我,網(wǎng)友甲“你才是傻子做的呢”。上帝用泥巴造人,可能是騙人的。

人類用沙子建,起了金字塔,是真實的(科學(xué)家稱,金子塔可能是人類首次使用混凝土技術(shù)所筑造的)。人類用沙子造晶圓,是我夸張的,但是也是可以有的。晶圓需要什么,需要硅。地球上第二豐富的元素是硅,而沙子、石頭里都含有硅(滿地都是硅,那為什么晶圓還缺呢!)。當(dāng)然這僅僅能說沙子可以造晶圓,造CPU,芯片。如果真用沙子來做晶圓,提煉會是麻煩死人的。硅礦石的硅含量相對較高。所以晶圓一般的是以硅礦石為原料的。網(wǎng)友乙“MD沙子石頭都能做的晶圓,產(chǎn)品賣那么貴啊?”;網(wǎng)友丙“如此看來,占領(lǐng)撒哈拉沙漠,是非常必要的,怪不得非洲、中東老打仗。原來沙子跟黃金似的。”話糙理不糙,世界上產(chǎn)黃金和鉆石、石油出產(chǎn)最多的就是在沙漠里(好像黃金和鉆石產(chǎn)量世界的第一的都是南非)。上天是公平的,上天如此厚予沙漠,所以就得懲罰沙漠里的眾生。(得了,打住,再扯就要編個神話故事了。我們今天是講科技。)

目錄

1脫氧提純

沙子/石英經(jīng)過脫氧提純以后的得到含硅量25%的Si02二氧化硅。氧化硅經(jīng)由電弧爐提煉,鹽酸氯化,并蒸餾后,得到純度高達99%以上的晶體硅。晶體硅的純度要求非常高,這也是造出晶圓昂貴的原因

。大家知道鉆石是個什么玩意兒嗎?鉆石就是碳元素經(jīng)過脫氧以及其他因素形成的元素排列獨特且純度高達99.64%以上的晶體。大家想想,晶圓比人造鉆石便宜多了,感覺還是很劃算的。

2制造晶棒

晶體硅經(jīng)過高溫成型,采用旋轉(zhuǎn)拉伸的方法做成圓形的晶棒

3晶片分片

將晶棒橫向切成厚度基本一致的晶圓片,Wafer。

4Wafer拋光

進行晶圓外觀的打磨拋光。

5Wafer鍍膜

通過高溫,或者其他方式,使晶圓上產(chǎn)生一層Si02二氧化硅。Si02二氧化硅為絕緣材料,但有雜質(zhì)和特殊處理的Si02二氧化硅有一定的導(dǎo)電性。這里Si02二氧化硅的作用是為了光的傳導(dǎo)。就像用Si02二氧化硅做光導(dǎo)纖維一個道理。這是為了后面光刻

6上光刻膠

光刻膠和以前照相的膠片一個道理。Wafer上光刻膠,要求薄而平整。

7光刻(極紫光刻EVO)

將設(shè)計好的晶圓電路掩模,放置于光刻的紫外線下,下面再放置Wafer。在光刻的瞬間,在Wafer被光刻的部分的光刻膠融化,被刻上了電路圖。去除光刻膠,光刻膠上的圖案要與掩模上的圖案一致。再次光刻。一個晶圓的電路要經(jīng)過多次光刻。隨著極紫光刻新技術(shù)出現(xiàn),晶圓的光刻變得更精確,也更有效率了,甚至可以一次完成全部光刻了。

9電鍍

基本上晶圓完成了,接下來要在晶圓上電鍍一層硫酸銅。銅離子會從正極走向負極。

10拋光

打磨拋光Wafer表面,整個Wafer就已經(jīng)制造成功了。

11晶圓切片】

將Wafer切成,單個晶圓Die。

12測

主要分三類:功能測試、性能測試、抗老化測試。具體有如:接觸測試、功耗測試、輸入漏電測試、輸出電平測試、動態(tài)參數(shù)測試、 模擬信號參數(shù)測試等等。有壞的晶圓就報廢,此為黑片;有一些測試沒過,但不影響使用的分為白片,可以流出;而全部通過測試的為正片。

13包裝入盒

先給Wafer覆膜,再將其插入黑盒子中。

14發(fā)往封測

晶圓的制造在半導(dǎo)體領(lǐng)域,科技含量相當(dāng)?shù)母撸夹g(shù)工藝要求非常高。而我們國半導(dǎo)體事業(yè)起步較晚,在晶圓的制造上還處于建設(shè)發(fā)展階段。現(xiàn)在我國主要做的是晶圓的封測。我國的晶圓封測規(guī)模和市場都是全球首屈一指的,約占全球約1/4。雖然近年我國大力支持半導(dǎo)體行業(yè),支持晶圓制造,也取得了一些成績。但是任重道遠。目前晶圓制造,核心技術(shù),依然牢牢的把握在外國晶圓廠家的手里。我國對外國晶圓的依賴性還非常之大。甚至普通消費者對外國電子產(chǎn)品的依賴性也相當(dāng)大,認為外國的月亮比中國的圓。這也是全球晶圓緊缺,中國電子數(shù)碼市場首當(dāng)其沖,強烈起伏的原因;也是外國在電子數(shù)碼領(lǐng)域?qū)ξ覀冇枞∮枨蟮脑颉?/p>

所以加油吧中國半導(dǎo)體,加油吧中國芯,加油吧國產(chǎn)電子數(shù)碼。也希望國人對國產(chǎn)多一點信心和支持。這個世界就是弱肉強食的,不自立不自強,就只有被別人欺凌,就只能自己喝湯看別人吃肉了。

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