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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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上海大學(xué)微電子學(xué)院院長、中國MEMS傳感器專家古元冬專訪
1965年,英特爾創(chuàng)始人之一戈登·摩爾曾總結(jié)道:當(dāng)價格不變時,集成電路上可以容納的元器件數(shù)目每隔約18個月便會翻番,性能也將相應(yīng)提升。這就是我們今天耳熟...
MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))元件的失效機(jī)制從本質(zhì)上講和與之相對應(yīng)的宏觀(肉眼可見)元件,具有很大差別并且是獨(dú)特的。本文討論從各種MEMS元件中觀測到的失效機(jī)制...
2021-12-13 標(biāo)簽:多晶硅mems微機(jī)電系統(tǒng) 1749 0
Draper基于全數(shù)字MEMS光開關(guān)的芯片級激光雷達(dá)方案
盡管自動駕駛業(yè)界對激光雷達(dá)仍然存在不同的聲音,但由于其創(chuàng)建周圍環(huán)境高清3D點(diǎn)云圖的能力,通常被認(rèn)為是自動駕駛汽車的核心使能傳感技術(shù)之一。激光雷達(dá)通過測量...
蘇州敏芯微電子成功研發(fā)面向 MEMS 微硅傳感器制程的 SENSA 工藝。敏芯目前已經(jīng)將此工藝應(yīng)用于公司生產(chǎn)的微硅壓力傳感芯片 MSP 系列產(chǎn)品中
德州儀器公布業(yè)界首款完全可編程MEMS芯片組,支持超便攜近紅外分析
中國北京(2015 年 3 月 20 日)——德州儀器(TI)(納斯納克代碼:TXN)在2015年匹茲堡展會(Pittcon)上宣布其近紅外(NIR)芯...
MEMS集成化及智能化是趨勢 爆發(fā)點(diǎn)為定時振蕩器
MEMS將以每年20%增長,而此在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中扮演了重要角色。從汽車安全、工業(yè)控制到消費(fèi)性娛樂產(chǎn)品以及通訊產(chǎn)品,MEMS器件的應(yīng)用范圍早已無所不在,而未...
中微公司Primo D-RIE?作為首臺設(shè)備順利搬入客戶生產(chǎn)線
增芯首臺設(shè)備搬入儀式在廣州市增城智能傳感器產(chǎn)業(yè)園舉行,增城區(qū)政府領(lǐng)導(dǎo)、增芯領(lǐng)導(dǎo)團(tuán)隊(duì)、中微公司代表及眾多合作伙伴出席儀式。增芯12英寸先進(jìn)智能傳感器及特色...
對于MEMS技術(shù)在智能手機(jī)應(yīng)用的快速發(fā)展,“室內(nèi)導(dǎo)航”功能其實(shí)也扮演著一部份的推動力量,但它卻一直未能展現(xiàn)最佳效果,而這項(xiàng)功能對于手機(jī)用戶來說實(shí)際上也不...
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)全球排名出爐 ST坐二望一
市場研究機(jī)構(gòu)Yole Developpement公布最新前三十大微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)業(yè)者排名。
2012-03-29 標(biāo)簽:MEMSST微機(jī)電系統(tǒng) 1738 0
邑文科技完成超5億元D輪融資,專注半導(dǎo)體前道工藝設(shè)備研發(fā)
作為一家專注于半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)的高新技術(shù)企業(yè),邑文科技創(chuàng)立于2011年,其核心業(yè)務(wù)包括半導(dǎo)體前道工藝設(shè)備的各項(xiàng)研究與生產(chǎn)。重點(diǎn)作品包括用于半導(dǎo)體上下游產(chǎn)業(yè)...
2024-01-30 標(biāo)簽:mems碳化硅半導(dǎo)體設(shè)備 1738 0
含光微納完成億元B+輪融資,雷軍旗下資金領(lǐng)投,加速中國MEMS微流控產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程!
近日,蘇州納米城企業(yè)蘇州含光微納科技有限公司宣布完成億元B+輪融資,由順為資本領(lǐng)投,中芯科技跟投。本輪融資所得資金將用于加速公司微流控研發(fā)制造合同的落地...
與 MSGEQ7 一起使用的最佳 MEMS 麥克風(fēng)
隨著我們的音頻反應(yīng)項(xiàng)目越來越復(fù)雜,我們可能決定用一個提供自動增益控制的簡單的 MEMS 麥克風(fēng)和放大器來代替。 這是我之前與 MSGEQ7 相關(guān)的專欄的...
Apexone Microelectronics is an innovative fabless semiconductor company that...
向石英元件商宣戰(zhàn) MEMS振蕩器進(jìn)軍手機(jī)市場
MEMS振蕩器正式進(jìn)軍智能型手機(jī)市場。美商SiTime發(fā)表新款移動裝置專用32kHz微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)振蕩器,擴(kuò)大向石英元件供應(yīng)商宣戰(zhàn)
意法半導(dǎo)體的MEMS之路:應(yīng)用領(lǐng)域的不斷擴(kuò)張
在信息技術(shù)帶動發(fā)展的互連社會中,以加速度計、陀螺儀、壓力傳感器為代表的MEMS傳感器正扮演著重要的角色。從運(yùn)動檢測、環(huán)境感知、壓力測試,MEMS解決方...
2013-07-09 標(biāo)簽:MEMS意法半導(dǎo)體 1733 0
硅推動醫(yī)療保健發(fā)展,運(yùn)用科技提高生活品質(zhì)
ST執(zhí)行副總裁兼大中華與南亞區(qū)總裁紀(jì)衡華表示只需分析硅技術(shù)進(jìn)步是如何影響電信、消費(fèi)電子等行業(yè)發(fā)展的,就可知道硅技術(shù)對醫(yī)療保健業(yè)的影響有多大
2013-05-13 標(biāo)簽:傳感器MEMS醫(yī)療設(shè)備 1733 0
村田發(fā)布新款6軸MEMS慣性傳感器SCH16T-K0
全球領(lǐng)先的電子元器件制造商村田(Murata)近日發(fā)布了其全新的6軸MEMS慣性傳感器SCH16T-K01。這款產(chǎn)品是村田下一代6軸SCH16T系列的首...
Yole最新MEMS行業(yè)報告出爐:出貨量310億顆,2030年規(guī)模將達(dá)192億美元
根據(jù)Yole Group的最新《Status of the MEMS Industry 2025》行業(yè)報告顯示,2024年全球MEMS行業(yè)收入達(dá)到154...
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