12月28日，中微半導體設備（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微公司”）刻蝕設備Primo D-RIE順利付運國內優秀的集成電路制造及研發設計服務商——廣州增芯科技有限公司（以下簡稱“增芯”），本次交付的Primo D-RIE也是該客戶12英寸智能傳感器及特色工藝晶圓生產線建成后搬入的首臺設備。

增芯首臺設備搬入儀式在廣州市增城智能傳感器產業園舉行，增城區政府領導、增芯領導團隊、中微公司代表及眾多合作伙伴出席儀式。增芯12英寸先進智能傳感器及特色工藝晶圓制造量產線項目，占地面積達370畝，分兩期建設。根據規劃，項目一期將建設月加工能力達2萬片的12英寸MEMS制造生產線。隨著首臺設備的順利搬入，也標志著項目建設進入全新的階段。

此次付運至客戶的12英寸雙反應臺多反應腔主機系統Primo D-RIE，專為優化產量而設計，可以配置多達三個雙反應臺反應腔，每個反應腔既可以獨立操作，又可以同時加工兩片晶圓。憑借在大規模生產中穩定可靠的性能表現、較低的生產成本、較高的生產效率和卓越的芯片加工性能，Primo D-RIE已獲得眾多全球領先的芯片制造商的認可與肯定。

儀式上，增芯董事長陳曉飛談到項目時表示，“今年9月，增芯項目主體結構正式封頂，僅短短三個月的時間，項目首臺設備Primo D-RIE已正式搬入并裝機。這其中離不開相關部門的大力支持，也離不開全體員工鍥而不舍的拼搏奮斗，更離不開如中微公司一般的優秀合作伙伴的全力配合及共同努力。”

中微公司副總裁、中微廣州總經理張凱先生表示，“中微公司Primo D-RIE作為首臺設備順利搬入客戶生產線展現了客戶對中微公司技術能力與卓越服務的高度信任，今后，在設備安裝、工藝調試、產品通線和量產過程中，我們也將持續為客戶提供優質的服務與支持，助力客戶實現發展和盈利目標，和行業伙伴一起為加快構建集成電路產業格局貢獻力量。”

中微公司持續拓展和優化刻蝕設備產品線，以滿足客戶日益嚴苛的技術需求。除Primo D-RIE雙反應臺刻蝕設備以外，CCP刻蝕設備系列還包括雙反應臺刻蝕設備Primo AD-RIE、單反應臺刻蝕設備Primo SSC AD-RIE、Primo HD-RIE和刻蝕及除膠一體化的 Primo iDEA。此外，中微公司的產品線還包括薄膜設備和MOCVD設備。這些產品為客戶提供了全面綜合的設備解決方案，用于先進工藝和特色工藝的多種應用。