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微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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現已推出同類一流的加速度計,兼具市場領先的穩定性、噪聲和功耗性能,可用于各種應用,包括結構健康監控、傾角計、平臺穩定和IMU。
描述了一種采用MEMS技術加工的微型氣相色譜柱, 這種色譜柱采用深刻蝕技術加工出色譜通道,再與Pyrex7740玻璃進行鍵合密封。
MEMS全稱Micro Electromechanical System(微機電系統),是一種通常在硅晶圓上以IC工藝制備的微機電系統,微機械結構的制備...
美新半導體完成10余億元A輪融資,打造全球領先MEMS IDM
據麥姆斯咨詢報道,近日,美新半導體(MEMSIC Semiconductor)宣布完成十余億人民幣A輪融資。本輪融資由沨華資本管理的紹興越芯基金領投,跟...
《第24期“見微知著”培訓課程:MEMS技術進階》在無錫圓滿落幕!
8月14日上午,由中國科學院上海微系統與信息技術研究所的研究員王躍林為大家開啟了MEMS產業鏈之旅,帶來《從MEMS發展到NEMS的啟示》。王躍林老師憑...
近年來,伴隨著科學技術發展、經濟水平提高,以及家電市場消費群體向年輕化持續邁進,家電行業正迎來全新的市場格局,智能化家電產品已成為品質生活的重要保障,越...
作為全球首家將柔性MEMS概念成功商業化落地的公司,NDT擁有70多項國內外核心技術專利,涵蓋了材料、結構、方案、量產等多個環節。此外,NDT還開發了從...
據麥姆斯咨詢介紹,Boston Micro Fabrication(BMF,摩方精密)公司是超高精度微尺寸器件3D打印系統的先行者和領導者。BMF產品線...
喬瓦尼埃洛說,最難的技術挑戰是找到一種可承受數十億次反復彎曲的導電合金。他說:“真正的問題是執行器,為了解決這個問題,通用公司付出很大努力來開發合金。我...
生命體征測量應用正在不斷發展,尤其是家用醫療保健和個人健康管理方面。本視頻重點介紹用于心率監護的AD8232單導聯ECG AFE,以及用于運動監護的AD...
美新半導體在世界上首次將傳感器、模擬信號以及數字信號處理三者整合在一塊芯片上,可以測量X,Y兩個獨立方向的加速度變化。不僅實現了質量更優、尺寸更小,也把...
MEMS振動傳感器作為獲取信息的關鍵器件,對各種傳感裝置的微型化起著巨大的推動作用。隨著MEMS技術的快速發展使得MEMS傳感器受到各發達國家的廣泛關注...
Yole分析:MEMS行業,風雨過后,2024年的下一步是什么?
來源:Yole,六指琴魔彈聲學 Yole Group?的?Pierre Delbos、Pierre-Marie Visse?和 Clyde Midele...
三菱電機推出新的LiDAR解決方案,有助于實現安全的自動駕駛
據悉,新的LiDAR解決方案通過激光照射物體,并使用雙軸(水平和垂直)MEMS鏡來掃描反射光,從而生成車輛和行人的三維圖像。三菱電機希望這種緊湊、性價比...
近年來,隨著新一代信息技術的飛速發展和醫療資源需求不斷增長,智慧醫療市場需求不斷增加,市場規模迅速擴大,中國成為僅次于美國和日本的世界第三大智慧醫療市場...
近日,光場相機3D機器檢測解決方案提供商【奕目科技】(VOMMA)宣布已完成Pre-A輪投資,金額達到千萬級別,本輪融資由原子創投獨家投資。資金將主要用...
這個被稱為HAMR-JR的微型機器人是以蟑螂為靈感開發的,它可以奔跑、跳躍、攜帶重物和快速轉彎。只有一分錢硬幣的大小,比回形針還要輕,還被賦予了‘打不死...
馬來西亞CMOS和MEMS代工服務供應商SilTerra近日發布了用于指紋識別傳感和醫療成像應用的CMOS片上壓電MEMS超聲換能器(piezoelec...
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