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微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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據麥姆斯咨詢報道,目前,博世每天制造的傳感器大約是450萬顆,隨著需要連接物體的數量增長,預計這個數字將繼續膨脹。從汽車安全氣囊開始,發展如今的智能手機...
Flusso的流量傳感器利用了CMOS MEMS硅基平臺,同時還具備額外的可編程性和可配置性。該流量傳感器采用微電子技術進行封裝和組裝,可為每月數千萬個...
蘇州工業園區科技發展局官方消息顯示,此次開工的敏芯股份研發生產大樓位于蘇州工業園區,預計建設期2年,投用后除作為企業研發總部,還將提升封裝和測試環節產能...
ST推出新款數字MEMS麥克風MP34DB01和MP45DT02
ST今天推出兩款新的數字MEMS麥克風。結合耐用性和可靠性出眾的聲音在降低成本的大小和質量,ST的MP34DB01和MP45DT02麥克風啟用增強在移動...
ACEINNA推出新型IMU383ZA傳感器,可實現低成本的電路板間通信
據新型報道,當地時間4月28日,新納(ACEINNA)宣布推出新型ACEINNA IMU383ZA慣性測量單元(IMU)傳感器,集成了三重冗余、三軸ME...
隨著人們環保意識的增強,選擇環境影響最小的產品和服務已經成為了常態。如何減輕產品生產過程中對環境的負荷也逐漸引起了公眾的關注。“智能”工廠內配備了多種傳...
8月27日,全球傳感器與物聯網產業創新峰會在南京國際博覽中心召開,中國半導體行業協會MEMS分會秘書長、蘇州納米科技發展有限公司副總裁蔡勇出席峰會并致辭...
2020-09-25 標簽:mems 3144 0
蘇州彰顯科技擔當|蘇州市納米新材料集群 入選首批國家先進制造業集群 導語:科技自立自強是國家發展的戰略支撐,是蘇州工業園區高質量發展的立區之本。3月,園...
了解ADI公司具有超低插入損耗、精密DC性能,且工作帶寬高達34GHz的MEMS開關技術,該技術可在儀器儀表、國防和ATE領域實現RF繼電器替代解決方案。
TDK推出具有SoundWire功能MEMS麥克風 NI發布新軟件包優化測試系統
TDK推出具有SoundWire功能的最新MEMS麥克風 TDK Corporation推出 T5828 SoundWire? MEMS 麥克...
新型光刻技術解決硅材料脆性難題,MEMS機械性能極限有望突破
聯合小組經過長達十年的研究,重點是采用光刻工藝替代聚焦離子束(FIB)工藝來完成在硅晶圓上的結構制作。FIB雖然可以實現硅晶圓結構,但會對硅表面造成損傷...
振動整流誤差(Vibration Rectification ):是指陀螺/加速度計在直線振動或角振動的條件下,陀螺/加速度計輸出信號中出現虛假的直流分...
突破第三代半導體材料和5G射頻器材等卡脖子環節,一批半導體項目入駐上海金橋 上海金橋5G產業生態園園中園之一的金海園正式開園。本次活動上集中簽約了一批旨...
MEMS傳感器即微機電系統是在微電子技術基礎上發展起來的多學科交叉的前沿研究領域,與傳統的傳感器相比,它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適...
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