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標(biāo)簽 > GAA
半導(dǎo)體工藝制程在進(jìn)入32nm以下的節(jié)點后,每一步都?xì)v盡艱辛,傳統(tǒng)的工藝技術(shù)已經(jīng)無法滿足7nm以下的制程了。好在FinFET之后,又帶來了全新的GAA工藝;而5nm之后的時代,全新GAA技術(shù)有望延續(xù)現(xiàn)有半導(dǎo)體技術(shù)路線的壽命。
半導(dǎo)體工藝制程在進(jìn)入32nm以下的節(jié)點后,每一步都?xì)v盡艱辛,傳統(tǒng)的工藝技術(shù)已經(jīng)無法滿足7nm以下的制程了。好在FinFET之后,又帶來了全新的GAA工藝;而5nm之后的時代,全新GAA技術(shù)有望延續(xù)現(xiàn)有半導(dǎo)體技術(shù)路線的壽命。
目前臺積電、三星、Intel、格芯量產(chǎn)的先進(jìn)工藝普遍是基于FinFET鰭式晶體管的;但是在5nm之后,F(xiàn)inFET幾乎已經(jīng)達(dá)到了物理極限,其不斷拉高的深度和寬度之比(為了避免短溝道效應(yīng),鰭片的寬度應(yīng)該小于柵極長度的0.7倍),將使得鰭片難以在本身材料內(nèi)部應(yīng)力的作用下維持直立形態(tài)。
業(yè)內(nèi)各大廠商和著名的研究機(jī)構(gòu)都提出了自己的看法。其中一種比較主流的方式被稱作Gate-All-Around環(huán)繞式柵極技術(shù),簡稱為GAA橫向晶體管技術(shù),也可以被稱為GAAFET。在應(yīng)用了GAA技術(shù)后,業(yè)內(nèi)估計基本上可以解決3nm乃至以下尺寸的半導(dǎo)體制造問題。
GAA,一般指全環(huán)繞柵極晶體管(Gate-All-Around FET)。GAA被廣泛認(rèn)為是鰭式結(jié)構(gòu)(FinFET)的下一代接任者。下面簡單介紹一下GA...
為了提供更優(yōu)良的靜電完整性,三維(3D)設(shè)計(如全圍柵(GAA)場電子晶體管(FET ))預(yù)計將在互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體技術(shù)中被采用。3D MOS架構(gòu)為蝕...
雖然只有12年的歷史,但finFET已經(jīng)走到了盡頭。從3nm開始,它們將被環(huán)柵 (GAA)取代,預(yù)計這將對芯片的設(shè)計方式產(chǎn)生重大影響。
泛林集團(tuán)的選擇性刻蝕方法:Argos、Prevos和Selis
微縮(即縮小芯片中的微小器件,如晶體管和存儲單元)從來都不是容易的事情,但要想讓下一代先進(jìn)邏輯和存儲器件成為現(xiàn)實,就需要在原子級的尺度上創(chuàng)造新的結(jié)構(gòu)。當(dāng)...
2023-01-31 標(biāo)簽:集成電路存儲器泛林集團(tuán) 920 0
Q1半導(dǎo)體設(shè)備廠商財報,GAA和HBM成為最大增長點
電子發(fā)燒友網(wǎng)報道(文/周凱揚)作為整個半導(dǎo)體行業(yè)的上游,半導(dǎo)體設(shè)備廠商的財報向來反映了芯片生產(chǎn)制造需求上所發(fā)生的變化。隨著半導(dǎo)體設(shè)備大廠們紛紛公布了今年...
2024-05-02 標(biāo)簽:應(yīng)用材料ASML季度財報 4369 0
電子發(fā)燒友網(wǎng)報道(文/周凱揚)對于任何試圖將半導(dǎo)體工藝推進(jìn)至埃米級的晶圓廠而言,GAA和背面供電似乎都成了逃不開的兩大技術(shù)。GAA和背面供電在滿足芯片性...
臺積電基于GAA技術(shù)的2nm制程將會在2025年量產(chǎn)
臺積電2021 年12,000 種產(chǎn)品,其中采用了300 多種制程,這些都是生態(tài)系合作的結(jié)果,沒有生態(tài)系的支持,臺積電就沒辦法進(jìn)步。
臺積電3nm今年底投片,蘋果成第一家客戶!三星GAA和臺積電FinFET,誰更有競爭力?
電子發(fā)燒友網(wǎng)報道(文/李彎彎)8月17日消息,據(jù)業(yè)內(nèi)人士透露,今年底蘋果將是第一家采用臺積電3nm投片的客戶,首款產(chǎn)品可能是M2 Pro處理器,明年包括...
FinFET與傳統(tǒng)的平面晶體管MOSFET相比,顯著減少了短溝道效應(yīng),也成功帶領(lǐng)整個半導(dǎo)體行業(yè)跟著摩爾定律,從20nm走到了4nm、5nm的工藝節(jié)點上。...
美國從EDA下絆子,3nm工藝關(guān)鍵技術(shù)GAA將與中國無緣?
美國商務(wù)部工業(yè)安全局在近日宣布,將四項新技術(shù)納入出口管制,包括兩大寬帶隙半導(dǎo)體材料(氧化鎵和金剛石)、開發(fā)GAAFET結(jié)構(gòu)集成電路的ECAD軟件、以及生...
三星3nm芯片開始量產(chǎn),采用GAA晶體管,提升巨大
日前,三星放出了將在6月30日正式量產(chǎn)3nm芯片的消息,今天上午,三星官方宣布已經(jīng)開始了3nm工藝芯片的量產(chǎn)。 三星官方稱,其采用了GAA晶體管的3nm...
三星電子GAA制程工藝節(jié)點芯片開始初步生產(chǎn)
2022年6月30日,作為先進(jìn)的半導(dǎo)體技術(shù)廠商之一的三星電子今日宣布, 基于3nm全環(huán)繞柵極(Gate-All-AroundT,簡稱 GAA)制程工藝節(jié)...
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