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duv就是深紫外光,主要是指波長小于i-line365nm的紫外光,一般工業上有193arf和248nmkrf的的激光。用的都是化學增幅型的光刻膠。
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目前,光刻機主要分為EUV光刻機和DUV光刻機。DUV是深紫外線,EUV是非常深的紫外線。DUV使用的是極紫外光刻技術,EUV使用的是深紫外光刻技術。E...
DUV已經能滿足絕大多數需求:覆蓋7nm及以上制程需求。DUV和EUV最大的區別在光源方案。duv的光源為準分子激光,光源的波長能達到193納米。
近日,《烏合麒麟撤回道歉,稱3D堆疊就是芯片優化技術》事件在網上引起爭論,今天ASPENCORE記者歐陽洋蔥同學進一步對“ 14nm + 14nm 達成...
ASML警告美國:對中國斷供DUV光刻機半導體供應鏈將中斷,真是如此嗎?
電子發燒友網報道(文/吳子鵬)近日,針對全球半導體產業廣泛關注的美國施壓ASML斷供中國DUV光刻機一事,ASML首席執行官(CEO)溫彼得正式回應稱,...
光刻機譽為“現代半導體行業皇冠上的明珠”,是一種高度復雜的設備。光刻機是通過紫外光作為“畫筆”,把預先設計好的芯片電路路線書寫在硅晶圓旋涂的光刻膠上,光...
荷蘭出新規!ASML部分DUV***將禁運,國產半導體設備發展別無選擇
電子發燒友網報道(文/吳子鵬)日前,有外媒報道稱,荷蘭貿易部部長最近在致荷蘭議會的一封信中宣布,基于國家安全考慮,荷蘭政府將在夏天之前對其芯片出口實施新...
最近,因為美日荷的出口管制,有關光刻機的很多討論又在中文媒體圈發酵。在這里,我們從semianalysis等媒體的報道,向大家展示一下備受關注的DUV光...
美國竟要求ASML停止對中國出口DUV光刻機,荷蘭政府果斷拒絕
日前晚間,據彭博社爆料稱,美國正在對荷蘭政府施壓,要求其光刻機企業ASML禁止向中國大陸出售包括DUV光刻機在內的重要技術型產品。 在此之前,光刻機巨頭...
3月3日下午,中芯國際披露,公司于2月1日與阿斯麥(ASML)上海簽訂了經修訂和重述的阿斯麥批量采購協議,將采購協議的期限延長一年至2021年12月31...
解讀ASML澄清中芯國際購買協議事件和EUV與DUV的差異性
近日,中芯國際與ASML達成12億美元交易購買晶圓生產設備的消息引發關注。針對雙方此次合作,有媒體報道稱“除了 EUV 光刻機,中芯國際幾乎可以買到其他...
ASML光刻機擴產計劃公布:EUV 90臺/年 DUV 600臺/年
荷蘭ASML公司昨天一家總部設在荷蘭埃因霍溫(Eindhoven)的全球最大的半導體設備制造商之一,向全球復雜集成電路生產企業提供領先的綜合性關鍵設備光...
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