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      標(biāo)簽　>　刻蝕機(jī)

      刻蝕機(jī)

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      刻蝕機(jī)是一種用于電子與通信技術(shù)領(lǐng)域的工藝試驗(yàn)儀器，于2012年5月14日啟用，在半導(dǎo)體和線路板制程上，蝕刻更是不可或缺的技術(shù)。

      文章：49個(gè) 瀏覽：4453次 帖子：1個(gè)

      刻蝕機(jī)技術(shù)

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      影響深硅刻蝕的關(guān)鍵參數(shù)有：氣體流量、上電極功率、下電極功率、腔體壓力和冷卻器。

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      濕法刻蝕由于成本低、操作簡(jiǎn)單和一些特殊應(yīng)用，所以它依舊普遍。

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      有過(guò)深硅刻蝕的朋友經(jīng)常會(huì)遇到這種情況：在一片晶圓上不同尺寸的孔或槽刻蝕速率是不同的。

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