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標簽 > 光刻膠
光刻膠(Photoresist)又稱光致抗蝕劑,是指通過紫外光、電子束、離子束、X射線等的照射或輻射,其溶解度發生變化的耐蝕劑刻薄膜材料。由感光樹脂、增感劑和溶劑3種主要成分組成的對光敏感的混合液體。
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微流控芯片制造過程中,勻膠是關鍵步驟之一,而勻膠機轉速會在多個方面對微流控芯片的精度產生影響: 對光刻膠厚度的影響 勻膠機轉速與光刻膠厚度成反比關系。旋...
勻膠機的基本原理和工作方式 勻膠機是一種利用離心力原理,將膠液均勻涂覆在基片上的設備。其基本工作原理是通過程序調控旋轉速度來改變離心力大小,并利用滴膠裝...
日前,廈門恒坤新材料科技股份有限公司(下稱“恒坤新材”)科創板IPO獲受理。該公司擬發行6739.7940萬新股,融資12.00億元,用于集成電路前驅體...
2025-01-07 標簽:光刻膠 370 0
一、烘膠技術在微流控中的作用 提高光刻膠穩定性 在 微流控芯片 制作過程中,光刻膠經過顯影后,進行烘膠(堅膜)能使光刻膠結構更穩定。例如在后續進行干法刻...
隨著半導體器件的應用范圍越來越廣,晶圓制造技術也得到了快速發展。其中,光刻技術在晶圓制造過程中的地位尤為重要。光刻膠是光刻工藝中必不可少的材料,其質量直...
2025-01-03 標簽:光刻膠 509 0
光刻膠是半導體制造等領域的一種重要材料,在整個電子元器件加工產業有著舉足輕重的地位。 它主要由感光樹脂、增感劑和溶劑等成分組成。其中,感光樹脂決定了光刻...
近日,據相關報道,三星電子在3D NAND閃存生產領域取得了重要技術突破,成功大幅減少了光刻工藝中光刻膠的使用量。 據悉,三星已經制定了未來NAND閃存...
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