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      電子發燒友網>電子資料下載>電子資料>SIC碳化硅MOSFET的制造工藝

      SIC碳化硅MOSFET的制造工藝

      2023-03-31 | pdf | 3.92 MB | 次下載 | 2積分

      資料介紹

      背景：隨著Si器件越來越逼近Si材料性能極限，20世紀90年代第三代半導體材料SiC由于其優異的電學性能，開始被科 研工作者關注并開始相關研究

      1、Eg : 較大禁帶寬度意味著較低的本征漏電流和較高工作溫度
      2、Ecrit : 較大臨界擊穿電場意味著漂移區更多的電子數( ND=?r*?0*Ecrit/ wdrift )和相同尺寸具有更高的耐壓
      3、?n : 電子遷移率和導通電阻具有以下關系:RDS(on)=wdrift/(q*?n*ND ) 4、λ : 較高的熱導率意味著更高的功率密度

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