資料介紹
SiC碳化硅功率半導體器件具有耐壓高、熱穩定好、開關損耗低、功率密度高等特點,被廣泛應用在電動汽車、風能發 電、光伏發電等新能源領域。 近年來,全球半導體功率器件的制造環節以較快速度向我國轉移。目前,我國已經成為全球最重要的半導體功率器件封測 基地。 目前常用的SiC碳化硅功率半導體器件主要包括:碳化sbd(schottkybarrierdiode,肖特基二極管)與碳化硅mosfet(metal-oxidesemiconductor field-effect transistor,金屬氧化物半導體場效應管),其中碳化硅mosfet器件屬于單級器件,開通關斷速度較快,對 柵極可靠性提出了更高的要求,而由于碳化硅材料的物理特性,導致柵級結構中的柵氧層缺陷數量較多,致使碳化硅mosfet器 件柵極早期失效率相比硅mosfet器件較高,限制了其商業化發展。為提高碳化硅mosfet器件柵級工作壽命,需要對碳化硅功率半 導體器件進行基于柵極的測試,在將碳化硅功率半導體器件壽命較低的器件篩選出來,提高碳化硅功率半導體器件的使用壽 命。
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