MEMS（Micro Electro mechanical System）即微機(jī)電系統(tǒng)，是指采用微機(jī)電加工技術(shù)按照功能要求在微米量級(jí)的芯片上集成機(jī)械零件、電子組件和傳感器執(zhí)行組件等而形成的一個(gè)獨(dú)立智能系統(tǒng)。由于單晶石英材料具有壓電效應(yīng)，且具有優(yōu)良的溫度、機(jī)械性能、高品質(zhì)因素等特性，采用單晶石英制作的石英 MEMS 加速度傳感器、壓力傳感器和石英 MEMS 陀螺儀等，具有高精度、高穩(wěn)定性、高分辨率等特點(diǎn)，在微型慣性導(dǎo)航系統(tǒng)、姿態(tài)測(cè)量與控制、航空航天、汽車(chē)電子、儀器儀表等領(lǐng)域具有廣泛應(yīng)用，其加工工藝和設(shè)備制造技術(shù)研究對(duì)促進(jìn)產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供技術(shù)支持具有十分重要的意義。

　　1 石英 MEMS 傳感器敏感芯片結(jié)構(gòu)

　　石英 MEMS 傳感器主要應(yīng)用于振動(dòng)慣性器件，是通過(guò)振動(dòng)原理測(cè)量運(yùn)動(dòng)物體的各種運(yùn)動(dòng)參數(shù)（包括角速度、角度、線加速度等）的慣性器件。石英 MEMS 振動(dòng)慣性器件主要包括石英微機(jī)械振動(dòng)陀螺、石英振梁加速度計(jì)等，其敏感結(jié)構(gòu)采用石英晶體，基于石英晶體壓電效應(yīng)原理、采用微電子加工工藝，是振動(dòng)慣性技術(shù)與微機(jī)械加工技術(shù)的有機(jī)結(jié)合。石英微機(jī)械振動(dòng)陀螺是一種音叉結(jié)構(gòu)的哥氏振動(dòng)陀螺，是一種 MEMS 角速度傳感器。其敏感芯片結(jié)構(gòu)為雙端音叉結(jié)構(gòu)，包括驅(qū)動(dòng)音叉、讀出音叉及支撐結(jié)構(gòu)。石英微機(jī)械振動(dòng)陀螺工作原理及敏感芯片結(jié)構(gòu)如圖 1 所示。驅(qū)動(dòng)音叉被激勵(lì)以其自然頻率左右振動(dòng)，當(dāng)石英 MEMS 陀螺繞其垂直軸旋轉(zhuǎn)時(shí)，驅(qū)動(dòng)音叉受到哥氏力（Coriolis）的作用產(chǎn)生一個(gè)垂直于音叉平面的振動(dòng)，這個(gè)哥氏力運(yùn)動(dòng)傳遞到讀出音叉，使讀出音叉垂直于音叉平面的方向振動(dòng)，振動(dòng)幅度正比于驅(qū)動(dòng)音叉的速度和外加速度，利用壓電效應(yīng)，通過(guò)制作在讀出音叉上的電極即可檢測(cè)到電信號(hào)，再經(jīng)過(guò)讀出電路解調(diào)得到一個(gè)正比于輸入角速度的直流電壓輸出。敏感芯片結(jié)構(gòu)是以石英晶體為基體材料的一體式音叉結(jié)構(gòu)，有雙端音叉、單端音叉等結(jié)構(gòu)形式。雙端音叉結(jié)構(gòu)將驅(qū)動(dòng)音叉與讀出音叉分開(kāi)，有利于減少耦合誤差，靈敏度高，但是體積較大；單端音叉結(jié)構(gòu)驅(qū)動(dòng)音叉與讀出音叉共用一個(gè)音叉，體積小，但信號(hào)相互干擾，靈敏度低。