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      電子發燒友網>電子資料下載>傳感與控制>如何使用MEMS技術實現壓力傳感器芯片的設計

      如何使用MEMS技術實現壓力傳感器芯片的設計

      2020-05-15 | pdf | 0.93 MB | 次下載 | 1積分

      資料介紹

      　　硅壓力傳感器是利用半導體硅的壓阻效應制成， 其品質的優劣主要決定于敏感結構的設計與制作工藝。 文章從硅壓力傳感器敏感薄膜的選擇、敏感電阻條的確定以及敏感電阻位置的選取， 設計了一種方案并進行了實驗驗證， 得出所設計的壓力傳感器精度達到 0.1% ～0.25%F.S.

      　　微機電系統（MEMS） 制作的硅壓力傳感器具有質量輕， 體積小， 成本低， 響應快， 輸出大， 結構簡單等優點， 主要是利用了半導體硅的壓阻效應原理。 采用MEMS 技術在單晶硅片上的特定晶向， 用擴散或離子注入等集成電路工藝制成敏感電阻條， 將四個壓敏電阻條構成惠斯頓全橋檢測電路， 同時利用刻蝕等立體集成電路工藝制造出敏感薄膜。 在此類器件中敏感薄膜與壓敏電阻條的設計， 對傳感器靈敏度輸出、線性、溫漂、時漂等性能有著非常重要的影響。 本文通過對方形、矩形和圓形膜片的最大應力、撓度以及膜片長寬比對輸出地影響選擇方形敏感薄膜; 對于壓敏電阻條的設計主要從摻雜類型， 摻雜濃度， 節深及壓敏電阻的最大功率確定其長度、寬度、折數; 從壓敏電阻靈敏度與應力大小的關系確定了敏感薄膜上的位置為重點， 闡述了半導體硅壓阻式傳感器敏感結構的設計要點.

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